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大尺寸硅片超精密磨床传输机器人动态仿真及轨迹优化

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大尺寸硅片超精密磨床传输机器人动态仿真及轨迹优化
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-7页
目录第7-9页
第一章 绪论第9-19页
  · 课题研究的背景第9页
  · 硅片传输机器人的发展及研究现状第9-15页
    · 硅片传输机器人的发展第10-11页
    · 硅片传输机器人的研究现状第11-15页
  · 动态仿真及轨迹规化技术概述第15-17页
    · 动态仿真技术的发展现状第15-16页
    · 轨迹规划技术的研究现状第16-17页
  · 课题研究的主要意义及内容第17-18页
    · 课题研究的意义第17-18页
    · 课题研究的内容第18页
  本章小结第18-19页
第二章 硅片传输机器人总体方案第19-26页
  · 硅片传输机器人构型选择第19-21页
  · 硅片传输机器人机构分析第21-24页
    · R-θ型硅片传输机器人结构分析第22-24页
    · R-θ型硅片传输机器人传动方式第24页
  · 硅片传输机器人末端执行器第24-25页
  · 硅片传输机器人的技术指标第25页
  本章小结第25-26页
第三章 硅片传输机器人运动分析第26-42页
  · 机器人运动学基础第26-31页
    · 物体在空间的位姿描述第26-28页
    · 连杆参数及连杆变换矩阵第28-30页
    · 机器人运动学方程的解第30-31页
  · 硅片传输机器人手臂运动模型第31-35页
    · 径向直线伸缩运动机构的选择第32-34页
    · 径向直线伸缩运动机构模型的建立第34-35页
  · 径向直线伸缩运动学分析第35-38页
  · 径向直线伸缩动力学分析第38-41页
  · 硅片传输机器人的工作空间第41页
  本章小结第41-42页
第四章 硅片传输机器人动态仿真第42-50页
  · 动态仿真系统开发环境及开发工具第42-43页
  · 硅片传输机器人动态仿真模型的建立第43-45页
  · 动态仿真系统开发过程第45-48页
    · 动态仿真模型中各元件路径信息第45-47页
    4.3.2 基于 Pro/toolkit 的动态仿真实现第47-48页
  · 硅片传输机器人动态仿真的实现第48-49页
  本章小结第49-50页
第五章 硅片传输机器人轨迹优化第50-56页
  · 机器人轨迹规划的概述第50页
  · 机器人时间最优轨迹规划第50-51页
  · 硅片传输机器人时间最优轨迹优化实现第51-55页
  本章小结第55-56页
结论第56-57页
参考文献第57-60页
附录 A 硅片传输机器人动态仿真系统开发程序第60-67页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第67-68页
致谢第68 页

本篇论文共68页,点击这进入下载页面
 
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