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高功率调制脉冲磁控溅射沉积纳米Cu薄膜工艺研究
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高功率调制脉冲磁控溅射沉积纳米Cu薄膜工艺研究
论文目录
 
摘要第1-7页
Abstract第7-10页
第一章 绪论第10-25页
　　· 高功率脉冲磁控溅射技术第10-13页
　　　　· 磁控溅射原理第10-11页
　　　　· 高功率脉冲磁控溅射技术第11-13页
　　· 高功率脉冲磁控溅射放电物理第13-20页
　　· 高功率脉冲磁控溅射薄膜沉积与特性第20-22页
　　1.4 纳米 Cu 材料特性与制备工艺第22-24页
　　· 本文的研究内容第24-25页
第二章 高功率调制脉冲磁控溅射技术特性第25-36页
　　· 四靶闭合场非平衡脉冲磁控溅射装置第25-27页
　　　　· 非平衡磁控溅射靶第25-26页
　　　　· 磁控溅射电源第26-27页
　　· 高功率调制脉冲磁控溅射放电特性第27-34页
　　　　· 充电电压影响第27-28页
　　　　· 脉冲作用时间影响第28-32页
　　　　· 脉冲频率和脉冲宽度影响第32-33页
　　　　· 工作气压影响第33-34页
　　· 本章小结第34-36页
第三章 Cu 薄膜沉积与表征方法第36-40页
　　3.1 Cu 薄膜沉积工艺第36-38页
　　　　· 工艺流程第36页
　　　　· 沉积参数第36-38页
　　· 表征方法第38-40页
　　　　3.2.1 Cu 薄膜结构和形貌分析第38页
　　　　3.2.2 Cu 薄膜厚度和粗糙度测量第38页
　　　　3.2.3 Cu 薄膜力学性能表征第38-40页
第四章 高功率调制脉冲磁控溅射沉积 Cu 薄膜结构与性能第40-52页
　　· 铜薄膜的微结构第40-43页
　　　　4.1.1 平均功率对 Cu 薄膜相结构影响第40-42页
　　　　4.1.2 气压对 Cu 薄膜相结构影响第42-43页
　　· 铜薄膜的相结构第43-46页
　　　　4.2.1 平均功率对 Cu 薄膜微结构影响第43-45页
　　　　4.2.2 气压对 Cu 薄膜微结构第45-46页
　　· 铜薄膜的力学性能第46-50页
　　　　· 铜薄膜的硬度与弹性模量第46-47页
　　　　· 铜薄膜的粗糙度第47-49页
　　　　· 铜薄膜的结合力第49-50页
　　· 本章小结第50-52页
结论第52-53页
参考文献第53-56页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第56-57页
致谢第57-58 页

本篇论文共58页，点击这进入下载页面。
 
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