超精密硅片磨床进给系统爬行现象仿真及抑制

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超精密硅片磨床进给系统爬行现象仿真及抑制

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超精密硅片磨床进给系统爬行现象仿真及抑制

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
第一章绪论	第9-18页
· 课题研究背景	第9页
· 爬行现象及其研究现状	第9-16页
· 爬行现象的起因	第9-13页
· 爬行现象的定义	第13-14页
· 国内外研究现状	第14-16页
· 课题研究意义及主要内容	第16-17页
· 课题研究意义	第16-17页
· 主要研究内容	第17页
本章小结	第17-18页
第二章超精密硅片磨床进给系统分析	第18-22页
· 超精密硅片磨床进给系统结构分析	第18-21页
· 进给系统的工作原理	第18页
· 进给系统的结构组成	第18-19页
· 进给系统的性能要求	第19-20页
· 进给系统的设计参数	第20-21页
· 爬行研究的方案设计	第21页
本章小结	第21-22页
第三章基于理论的爬行现象分析	第22-30页
· 原理及流程	第22页
· 超精密硅片磨床进给系统数学模型	第22-24页
· 超精密硅片磨床进给系统爬行现象模型	第24-28页
· 爬行现象的力学模型	第24-25页
· 爬行现象的数学模型	第25-27页
· 爬行现象的临界速度	第27-28页
本章小结	第28-30页
第四章基于动力学仿真的爬行现象分析	第30-40页
· 原理及流程	第30-35页
· 虚拟样机技术概述	第30-33页
· 设计流程	第33-35页
· 超精密硅片磨床进给系统虚拟样机建立	第35-37页
· 模型导入	第35页
· 工作环境设置	第35页
· 编辑构件	第35-36页
· 创建约束副	第36页
· 模型验证	第36-37页
· 施加气缸平衡作用力与摩擦力	第37页
· 定义电机驱动	第37页
· 刚柔耦合样机的建立	第37-38页
· 进给仿真与结果分析	第38-39页
本章小结	第39-40页
第五章影响爬行现象的因素分析及抑制爬行的措施	第40-53页
· 影响爬行现象的因素分析	第40-48页
· 刚度对爬行现象的影响	第40-43页
· 质量对爬行现象的影响	第43-45页
· 动静摩擦系数之差对爬行现象的影响	第45-48页
· 抑制爬行采用的措施分析	第48-50页
· 通过改变刚度抑制爬行	第48页
· 通过改变质量抑制爬行	第48-49页
· 通过改变动静摩擦之差抑制爬行	第49-50页
· 利用附加子系统抑制爬行	第50页
· 改进前后对比图	第50-51页
本章小结	第51-53页
结论	第53-54页
参考文献	第54-57页
攻读硕士学位期间发表的学术论文	第57-58页
致谢	第58 页

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