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大尺寸硅片超精密磨床清洗系统动态仿真及实验研究
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大尺寸硅片超精密磨床清洗系统动态仿真及实验研究
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-9页
第一章 绪论
第9-17页
· 课题研究的背景
第9-12页
· 硅片清洗工艺简介
第9-11页
· 本课题研究的背景
第11-12页
· 硅片清洗系统的研究现状
第12-15页
· 硅片清洗系统工作方式
第12-13页
· 硅片清洗系统的发展状况
第13-15页
· 清洗系统动态仿真研究的意义
第15-17页
· 动态仿真研究的意义
第15-16页
· 本文研究的主要内容
第16-17页
第二章 清洗系统工作原理及结构分析
第17-27页
· 硅片清洗基本原理
第18-21页
· 硅片和吸盘清理系统的工作原理
第18-20页
· 旋转喷淋系统的工作原理
第20-21页
· 硅片和吸盘清理系统的结构分析
第21-24页
· 移动进给系统
第21-22页
· 旋转进给系统
第22-23页
· 清洗刷系统
第23-24页
· 旋转喷淋系统的结构分析
第24-26页
· 清洗喷头系统
第24-25页
· 清洗罩壳系统
第25页
· 硅片旋转系统
第25-26页
本章小结
第26-27页
第三章 磨床清洗系统虚拟样机的开发
第27-49页
· 清洗系统的虚拟装配
第27-31页
· 清洗系统的建模
第27-29页
· 虚拟装配的关键技术
第29-31页
· 磨床清洗系统虚拟样机的开发
第31-40页
· 清洗系统虚拟样机的开发工具
第31-32页
· 清洗系统虚拟样机的开发
第32-36页
· 虚拟样机开发的环境设置
第36-40页
· 动态仿真的实现
第40-48页
· 相关功能代码的编译
第40-42页
· 计算机三维图形变换
第42-46页
· 帧数控制技术
第46-48页
本章小结
第48-49页
第四章 清洗工艺参数分析
第49-55页
· 硅片表面清洗度的测量
第49-50页
4.1.1 硅片表面清洗度 SIMS 测量法
第49-50页
· 硅片表面清洗度接触角测量法
第50页
· 影响硅片清洗度的清洗工艺参数
第50-54页
· 硅片刷的转速对清洗度的影响
第51-52页
· 硅片转速对清洗度的影响
第52-53页
· 清洗液喷速对清洗度的影响
第53-54页
本章小结
第54-55页
结论
第55-56页
参考文献
第56-58页
攻读硕士学位期间发表的学术论文
第58-59页
致谢
第59 页
本篇论文共
59
页,
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