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大尺寸硅片超精密磨床清洗系统动态仿真及实验研究

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大尺寸硅片超精密磨床清洗系统动态仿真及实验研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-9页
第一章 绪论第9-17页
  · 课题研究的背景第9-12页
    · 硅片清洗工艺简介第9-11页
    · 本课题研究的背景第11-12页
  · 硅片清洗系统的研究现状第12-15页
    · 硅片清洗系统工作方式第12-13页
    · 硅片清洗系统的发展状况第13-15页
  · 清洗系统动态仿真研究的意义第15-17页
    · 动态仿真研究的意义第15-16页
    · 本文研究的主要内容第16-17页
第二章 清洗系统工作原理及结构分析第17-27页
  · 硅片清洗基本原理第18-21页
    · 硅片和吸盘清理系统的工作原理第18-20页
    · 旋转喷淋系统的工作原理第20-21页
  · 硅片和吸盘清理系统的结构分析第21-24页
    · 移动进给系统第21-22页
    · 旋转进给系统第22-23页
    · 清洗刷系统第23-24页
  · 旋转喷淋系统的结构分析第24-26页
    · 清洗喷头系统第24-25页
    · 清洗罩壳系统第25页
    · 硅片旋转系统第25-26页
  本章小结第26-27页
第三章 磨床清洗系统虚拟样机的开发第27-49页
  · 清洗系统的虚拟装配第27-31页
    · 清洗系统的建模第27-29页
    · 虚拟装配的关键技术第29-31页
  · 磨床清洗系统虚拟样机的开发第31-40页
    · 清洗系统虚拟样机的开发工具第31-32页
    · 清洗系统虚拟样机的开发第32-36页
    · 虚拟样机开发的环境设置第36-40页
  · 动态仿真的实现第40-48页
    · 相关功能代码的编译第40-42页
    · 计算机三维图形变换第42-46页
    · 帧数控制技术第46-48页
  本章小结第48-49页
第四章 清洗工艺参数分析第49-55页
  · 硅片表面清洗度的测量第49-50页
    4.1.1 硅片表面清洗度 SIMS 测量法第49-50页
    · 硅片表面清洗度接触角测量法第50页
  · 影响硅片清洗度的清洗工艺参数第50-54页
    · 硅片刷的转速对清洗度的影响第51-52页
    · 硅片转速对清洗度的影响第52-53页
    · 清洗液喷速对清洗度的影响第53-54页
  本章小结第54-55页
结论第55-56页
参考文献第56-58页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第58-59页
致谢第59 页

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