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化学水浴法制备硫化锌薄膜的性能研究

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化学水浴法制备硫化锌薄膜的性能研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-28页
  · 太阳能光伏电池的发展第10-13页
    · 太阳能电池产业的发展第10-11页
    · 太阳能电池材料的发展第11-13页
  · 太阳能电池的原理第13-15页
    · 光-热-电转换第14页
    · 光-电直接转换第14-15页
  · CIS(CIGS)薄膜太阳能电池第15-19页
    1.3.1 CIS 发展历史和研究现状第15-16页
    · CIS(CIGS)太阳能电池的组成第16-19页
  · CIS(CIGS)太阳能电池缓冲层的特点第19-20页
  1.5 ZnS 薄膜第20-24页
    1.5.1 无镉 CIGS 太阳电池的国外发展状况第21-23页
    1.5.2 无镉 CIGS 太阳电池的国内发展状况第23-24页
  · 薄膜(太阳能)的制备工艺第24-27页
    · 物理气相沉积(PVD)第24页
    · 外延膜沉积技术第24-25页
    · 化学气相沉积(CVD)第25页
    · 化学水浴法(CBD)第25-27页
  · 研究内容及意义第27-28页
第二章 实验原理及方法第28-38页
  2.1 化学水浴法制备 ZnS 薄膜第28-31页
    · 反应原理[70-72]第28-29页
    · 实验装置及制备流程第29-31页
  · 检测设备第31-38页
    2.2.1 X 射线衍射仪(XRD)第31-32页
    · 扫描电镜(SEM)第32-33页
    · 透射电镜(TEM)第33-35页
    · 能谱仪(EDS)分析第35-36页
    · 薄膜厚度测试第36页
    · 薄膜的可见光谱测试第36页
    2.2.7 X 射线光电子能谱仪第36-38页
第三章 化学水浴法制备 ZnS 薄膜性能分析第38-68页
  3.1 ZnS 薄膜厚度检测的结果与分析第38-40页
    3.1.1 氨水浓度对 ZnS 薄膜厚度的影响第38页
    3.1.2 硫脲浓度对 ZnS 薄膜厚度的影响第38-39页
    3.1.3 硫酸锌浓度对 ZnS 薄膜厚度的影响第39页
    3.1.4 沉积时间对 ZnS 薄膜厚度的影响第39-40页
    3.1.5 沉积温度对 ZnS 薄膜厚度的影响第40页
    本节小结第40页
  3.2 ZnS 薄膜 SEM 检测的结果与分析第40-47页
    3.2.1 氨水浓度对 ZnS 薄膜 SEM 的影响第40-41页
    3.2.2 硫脲浓度对 ZnS 薄膜 SEM 的影响第41-42页
    3.2.3 硫酸锌浓度对 ZnS 薄膜 SEM 的影响第42-43页
    3.2.4 沉积时间对 ZnS 薄膜 SEM 的影响第43-45页
    3.2.5 沉积温度对 ZnS 薄膜 SEM 的影响第45页
    3.2.6 不同退火条件对 ZnS 薄膜 SEM 的影响第45-47页
    本节小结第47页
  3.3 ZnS 薄膜透射率检测的结果与分析第47-53页
    3.3.1 氨水浓度对 ZnS 薄膜透射率的影响第47-48页
    3.3.2 硫脲浓度对 ZnS 薄膜透射率的影响第48-49页
    3.3.3 硫酸锌浓度对 ZnS 薄膜透射率的影响第49-50页
    3.3.4 沉积时间对 ZnS 薄膜透射率的影响第50页
    3.3.5 沉积温度对 ZnS 薄膜透射率的影响第50-51页
    3.3.6 不同退火条件对 ZnS 薄膜透射率的影响第51-53页
    本节小结第53页
  3.4 ZnS 薄膜 XRD 检测的结果与分析第53-57页
    3.4.1 氨水浓度对 ZnS 薄膜 XRD 的影响第53页
    3.4.2 硫脲浓度对 ZnS 薄膜 XRD 的影响第53-54页
    3.4.3 硫酸锌浓度对 ZnS 薄膜 XRD 的影响第54页
    3.4.4 沉积时间对 ZnS 薄膜 XRD 的影响第54-55页
    3.4.5 沉积温度对 ZnS 薄膜 XRD 的影响第55-56页
    3.4.6 不同退火条件对 ZnS 薄膜 XRD 的影响第56-57页
    本节小结第57页
  3.5 ZnS 薄膜 TEM 检测的结果与分析第57-60页
  3.6 ZnS 薄膜 XPS 检测的结果与分析第60-61页
    本节小结第61页
  3.7 ZnS 薄膜禁带宽度检测的结果与分析第61-68页
    3.7.1 不同工艺对 ZnS 薄膜禁带宽度的影响第62-65页
    3.7.2 退火对 ZnS 薄膜禁带宽度的影响第65-67页
    本节小结第67-68页
结论第68-70页
参考文献第70-73页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第73-74页
致谢第74-75 页

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