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基于压电微悬臂梁阵列的并行探测相关技术研究

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基于压电微悬臂梁阵列的并行探测相关技术研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-7 页
目录第7-9 页
第一章 绪论第9-19 页
  · 压电微传感器发展现状第9-12 页
    · 压电陶瓷材料的发展第9-11 页
    · 基于锆钛酸铅薄膜的压电微传感器第11-12 页
  · 微悬臂梁阵列并行检测系统第12-17 页
    · 并行检测系统的发展第14-17 页
    · PZT 薄膜压电微传感器阵列第17 页
  · 本论文的研究意义及构成第17-19 页
    · 本硕士论文的研究目标和意义第17-18 页
    · 本硕士论文的构成第18-19 页
第二章 压电薄膜在作为机电转换元件时的尺度效应研究第19-36 页
  · 超薄PZT 薄膜研究的意思第19-21 页
    · 压电薄膜微悬臂梁探测灵敏度分析第19 页
    · 提高探测灵敏度的方法研究第19-21 页
  · 国内外超薄PZT 薄膜研究进展及研究成果第21-23 页
  · 超薄PZT 薄膜的研究第23-35 页
    · 溶胶-凝胶法制备超薄PZT 薄膜的工艺简介第23-24 页
    · 超薄PZT 薄膜的制备第24-25 页
    · 针对超薄薄膜的上电极制备及图形化工艺研究第25-30 页
    · PZT 薄膜电学性能的测试第30-35 页
  · 本章小结第35-36 页
第三章 并行探测SPM 系统信号处理电路设计及系统集成与测试第36-53 页
  · 直流偏置电路的设计第36-38 页
  · 多路选择电路的设计第38-41 页
  · 前置放大电路的优化第41-46 页
  · 微悬臂梁性能测试第46-51 页
  · 系统集成实验第51-52 页
  · 本章小结第52-53 页
第四章 并行探测SPM 系统成像技术研究第53-76 页
  · 成像技术研究第53-62 页
    · 成像原理第53-54 页
    · 平面成像与三维成像第54-55 页
    · 灰度图像到伪彩色图像的转换的研究第55-62 页
  · 软件降噪第62-64 页
  · 图像拼接第64-75 页
    · 拼接图像模型的模拟第65-66 页
    · 图像预处理第66-69 页
    · 拼接算法的研究第69-71 页
    · 灰度平衡第71-72 页
    · 图像的自然缝合第72 页
    · 拼接实验及相似度计算第72-73 页
    · 实时拼接的模拟第73-75 页
  · 本章小结第75-76 页
第五章 总结与展望第76-78 页
  · 总结第76-77 页
    · 本论文的主要工作及结论第76-77 页
    · 本论文的创新点第77 页
  · 展望第77-78 页
参考文献第78-81 页
在读硕士期间发表的论文第81-82 页
致谢第82页

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