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ZnO薄膜和P掺杂ZnO薄膜的制备与表征

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ZnO薄膜和P掺杂ZnO薄膜的制备与表征
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 绪论第9-14页
  · ZnO的基本性质第9-11页
    · ZnO的晶体结构第9页
    · ZnO的光学性质第9-10页
    · ZnO的电学性质第10-11页
    · ZnO的能带结构第11页
  · ZnO的应用第11-12页
    · 短波长光电子器件第11-12页
    · 透明导电膜第12页
    · 表面声波器件(SAW)第12页
    · 交流纳米发电机第12页
  · ZnO薄膜的制备技术第12-14页
    · 脉冲激光沉积(PLD)第12-13页
    · 化学气相沉积(CVD)第13页
    · 磁控溅射(Sputtering)第13页
    · 溶胶-凝胶法(sol-gel)第13-14页
2 薄膜样品的制备及分析第14-23页
  · 样品的制备方法第14-15页
    · 脉冲激光沉积(PLD)原理第14-15页
  · 设备简介第15-16页
    · 抽气系统第15页
    · 送气系统第15页
    · 旋转靶台系统第15-16页
    · 基片加热和控制系统第16页
  · 薄膜分析方法第16-23页
    · X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)第16-18页
    · 原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)第18-19页
    · 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)第19-20页
    · 光致发光(Photoluminescence,PL)第20-21页
    · 电子探针显微分析(Electron Probe Microanalysis,EPMA)第21-23页
3 氧分压对ZnO薄膜结晶质量和光学特性的影响第23-33页
  · ZnO薄膜的制备第23页
  · 结果与分析第23-32页
    · 样品组织的SEM分析第23-26页
    · 样品结构的XRD分析第26-29页
    · 样品光学性能的PL分析第29-32页
  · 本章小结第32-33页
4 激光能量对ZnO薄膜结晶质量和光学特性的影响第33-40页
  · ZnO薄膜的制备第33页
  · 结果与分析第33-39页
    · 样品组织的AFM分析第33-35页
    · 样品结构的XRD分析第35-37页
    · 激光能量对薄膜生长速率的影响第37-38页
    · 样品光学性能的PL分析第38-39页
  · 本章小结第39-40页
5 ZnO:P薄膜结晶质量和光学特性第40-49页
  · ZnO薄膜的制备第40页
  · 结果与分析第40-48页
    · ZnO:P薄膜中P含量分析第40-41页
    · ZnO:P薄膜的SEM分析第41-44页
    · 样品结构的XRD分析第44-46页
    · 样品光学性能的PL分析第46-48页
  · 本章小结第48-49页
参考文献第49-52页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第52-53页
致谢第53-54 页

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