ZnO薄膜和P掺杂ZnO薄膜的制备与表征 |
论文目录 | | 摘要 | 第1-5页 | Abstract | 第5-9页 | 1 绪论 | 第9-14页 | · ZnO的基本性质 | 第9-11页 | · ZnO的晶体结构 | 第9页 | · ZnO的光学性质 | 第9-10页 | · ZnO的电学性质 | 第10-11页 | · ZnO的能带结构 | 第11页 | · ZnO的应用 | 第11-12页 | · 短波长光电子器件 | 第11-12页 | · 透明导电膜 | 第12页 | · 表面声波器件(SAW) | 第12页 | · 交流纳米发电机 | 第12页 | · ZnO薄膜的制备技术 | 第12-14页 | · 脉冲激光沉积(PLD) | 第12-13页 | · 化学气相沉积(CVD) | 第13页 | · 磁控溅射(Sputtering) | 第13页 | · 溶胶-凝胶法(sol-gel) | 第13-14页 | 2 薄膜样品的制备及分析 | 第14-23页 | · 样品的制备方法 | 第14-15页 | · 脉冲激光沉积(PLD)原理 | 第14-15页 | · 设备简介 | 第15-16页 | · 抽气系统 | 第15页 | · 送气系统 | 第15页 | · 旋转靶台系统 | 第15-16页 | · 基片加热和控制系统 | 第16页 | · 薄膜分析方法 | 第16-23页 | · X射线衍射(X-ray diffraction,XRD) | 第16-18页 | · 原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM) | 第18-19页 | · 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM) | 第19-20页 | · 光致发光(Photoluminescence,PL) | 第20-21页 | · 电子探针显微分析(Electron Probe Microanalysis,EPMA) | 第21-23页 | 3 氧分压对ZnO薄膜结晶质量和光学特性的影响 | 第23-33页 | · ZnO薄膜的制备 | 第23页 | · 结果与分析 | 第23-32页 | · 样品组织的SEM分析 | 第23-26页 | · 样品结构的XRD分析 | 第26-29页 | · 样品光学性能的PL分析 | 第29-32页 | · 本章小结 | 第32-33页 | 4 激光能量对ZnO薄膜结晶质量和光学特性的影响 | 第33-40页 | · ZnO薄膜的制备 | 第33页 | · 结果与分析 | 第33-39页 | · 样品组织的AFM分析 | 第33-35页 | · 样品结构的XRD分析 | 第35-37页 | · 激光能量对薄膜生长速率的影响 | 第37-38页 | · 样品光学性能的PL分析 | 第38-39页 | · 本章小结 | 第39-40页 | 5 ZnO:P薄膜结晶质量和光学特性 | 第40-49页 | · ZnO薄膜的制备 | 第40页 | · 结果与分析 | 第40-48页 | · ZnO:P薄膜中P含量分析 | 第40-41页 | · ZnO:P薄膜的SEM分析 | 第41-44页 | · 样品结构的XRD分析 | 第44-46页 | · 样品光学性能的PL分析 | 第46-48页 | · 本章小结 | 第48-49页 | 参考文献 | 第49-52页 | 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第52-53页 | 致谢 | 第53-54
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