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基于微纳结构的太赫兹传感器
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基于微纳结构的太赫兹传感器
论文目录
摘要
第1-6页
ABSTRACT
第6-9页
第一章 绪论
第9-17页
1.1 太赫兹科学技术简介
第9页
1.2 人工合成的微纳结构技术简介
第9-13页
1.3 基于微纳结构的太赫兹传感器的发展
第13-16页
1.3.1 基于微纳结构的太赫兹器件
第13-15页
1.3.2 基于微纳结构的太赫兹传感器
第15-16页
1.4 本论文的结构安排
第16-17页
第二章 太赫兹波段增强谐振阵列结构的研究
第17-36页
2.1 高Q值谐振结构的研究
第17-27页
2.1.1 LC模式和dipolar模式的Q值研究
第18-21页
2.1.2 Fano共振和EIT模式Q值研究
第21-24页
2.1.3 超单元结构Q值研究
第24-27页
2.2 微纳阵列表面结构F-P谐振腔的增强谐振机制研究
第27-31页
2.3 多层复合结构的电磁谐振机理的研究
第31-35页
2.4 本章小结
第35-36页
第三章 基于微纳结构的太赫兹微流传感器的初步研究
第36-57页
3.1 基于微纳结构的太赫兹微流传感器设计思路
第36-37页
3.2 器件的单元设计与整体性能分析以及优化
第37-41页
3.2.1 Traditional器件的性能研究
第38-40页
3.2.2 Novel器件性能研究
第40-41页
3.2.3 Traditional器件和novel器件性能对比
第41页
3.3 不同频段的微流传感器性能研究
第41-48页
3.3.1 2THzsensor
第41-43页
3.3.2 4THz sensor
第43-45页
3.3.3 6THz sensor
第45-46页
3.3.4 传感器优化方案—盖层刻蚀
第46-48页
3.4 基于微纳结构的太赫兹微流传感器的实验制备与组装
第48-53页
3.5 基于微纳结构的太赫兹微流传感器的测试
第53-55页
3.5.1 待传感液体的制备
第53页
3.5.2 传感器的液体传感测试
第53-55页
3.6 传感器测试实验数据的处理与性能评估
第55-56页
3.6.1 传感器实验数据的处理
第55-56页
3.6.2 传感器性能评估
第56页
3.7 本章小结
第56-57页
第四章 论文总结
第57-58页
致谢
第58-59页
参考文献
第59-67页
攻读硕士学位期间取得的成果
第67-68页
本篇论文共
68
页,
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。
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