基于聚合物的级联双环谐振腔波导传感器的研究

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基于聚合物的级联双环谐振腔波导传感器的研究

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基于聚合物的级联双环谐振腔波导传感器的研究

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
简缩字表	第10-11页
第一章绪论	第11-18页
1.1 研究背景	第11-12页
1.2 波导型生化传感器原理	第12-13页
1.3 光波导生化传感器的主要结构	第13-17页
1.4 本论文主要内容及创新点	第17-18页
第二章光波导基本理论	第18-26页
2.1 平板光波导分析方法	第18-19页
2.2 矩形波导分析理论	第19-23页
2.2.1 马卡梯里方法	第20-21页
2.2.2 有效折射率法	第21-23页
2.3 矩形波导的设计	第23-25页
2.4 本章小结	第25-26页
第三章环形谐振腔传感器的理论基础	第26-44页
3.1 环形谐振腔的基本结构和主要特征参数	第26-29页
3.1.1 基本结构	第26-27页
3.1.2 环形谐振腔的主要特征参数	第27-29页
3.2 环形腔耦合部分——TMI	第29-31页
3.2.1 TMI原理	第29-31页
3.2.2 TMI设计	第31页
3.3 弯曲损耗的计算	第31-34页
3.4 环形谐振腔传感器的传感原理分析	第34-35页
3.5 基于聚合物的级联双环谐振腔传感器	第35-40页
3.5.1 级联双环谐振腔波导传感器的结构	第35-36页
3.5.2 级联双环谐振腔传感器输出谱分析	第36-38页
3.5.3 级联双环谐振腔提升灵敏度原理	第38-39页
3.5.4 级联双环谐振腔传感器的折射率探测范围	第39-40页
3.6 级联双环谐振腔传感器的设计	第40-43页
3.7 本章小结	第43-44页
第四章级联双环谐振腔传感器的工艺制作	第44-52页
4.1 工艺制作流程	第44-45页
4.2 光刻掩膜版的设计	第45-46页
4.3 器件的主要制作工艺	第46-51页
4.3.1 波导芯层的制作	第46-47页
4.3.2 级联双环谐振腔的图案形成	第47-49页
4.3.3 BCB的刻蚀及上包层的制作	第49-51页
4.4 本章小结	第51-52页
第五章级联双环谐振腔的谐振性能测试	第52-60页
5.1 通光测试	第52-53页
5.2 器件谐振特性的测试	第53-57页
5.3 折射率匹配液传感性能测试	第57-59页
5.4 本章小结	第59-60页
第六章总结与展望	第60-61页
6.1 总结	第60页
6.2 展望	第60-61页
致谢	第61-62页
参考文献	第62-65页

本篇论文共65页，点击这进入下载页面。

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