AAO模板制备快速响应钯基氢传感器

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AAO模板制备快速响应钯基氢传感器

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AAO模板制备快速响应钯基氢传感器

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第一章绪论	第10-25页
1.1 引言	第10页
1.2 氢气传感器的简介	第10-16页
1.2.1 氢气传感器的分类	第11-16页
1.3 阳极氧化铝模板法制备纳米材料	第16-23页
1.3.1 纳米材料的优势	第16页
1.3.2 阳极氧化铝模板的简介	第16-18页
1.3.3 阳极氧化铝的形成理论	第18-20页
1.3.4 阳极氧化铝模板法制造纳米材料	第20-21页
1.3.5 阳极氧化铝模板法制备快速响应的钯基氢气传感器	第21-23页
1.4 本论文的研究目的和范围	第23-25页
第二章阳极氧化铝模板的制备	第25-34页
2.1 引言	第25-28页
2.1.1 二步阳极氧化法	第26-27页
2.1.2 材料分析表征技术简介	第27-28页
2.2 实验试剂药品及仪器	第28-29页
2.3 实验过程	第29-30页
2.4 实验结果与分析	第30-33页
2.4.1 阳极氧化铝模板的SEM分析	第30-32页
2.4.2 阳极氧化铝模板的XRD分析	第32-33页
2.5 本章小节	第33-34页
第三章多孔钯薄膜电阻式氢气传感器	第34-46页
3.1 引言	第34-35页
3.1.1 薄膜技术的简介	第34页
3.1.2 多孔阳极氧化铝模板法制备多孔钯薄膜	第34-35页
3.2 实验材料及仪器	第35页
3.3 实验过程	第35-39页
3.3.1 氢气传感器的制备流程	第35-36页
3.3.2 磁控溅射钯薄膜的操作过程	第36-38页
3.3.3 热蒸发Al电极的操作过程	第38-39页
3.4 氢气传感器器件测试	第39-40页
3.4.1 测试材料及仪器	第39页
3.4.2 氢气传感器测试系统	第39-40页
3.5 实验结果与分析	第40-45页
3.5.1 标定溅射速率	第40-41页
3.5.2 多孔钯薄膜的SEM分析	第41-42页
3.5.3 不同氢气浓度下氢气传感器的性能测试	第42-44页
3.5.4 传感器的重复性测试	第44页
3.5.5 铝衬底上致密钯薄膜氢气传感器的性能	第44-45页
3.6 本章小结	第45-46页
第四章钯薄膜制备工艺对氢气传感器性能的影响	第46-55页
4.1 引言	第46页
4.2 实验材料及仪器	第46-47页
4.2.1 磁控溅射系统	第47页
4.3 实验过程	第47-48页
4.4 实验结果及分析	第48-54页
4.4.1 溅射速率对氢气传感器性能的影响	第48-49页
4.4.2 衬底温度对氢气传感器性能的影响	第49-50页
4.4.3 退火温度对氢气传感器性能的影响	第50-54页
4.5 本章小结	第54-55页
第五章阳极氧化铝模板扩孔对氢气传感器性能的影响	第55-63页
5.1 引言	第55-57页
5.1.1 扩大AAO模板孔径的意义	第55-57页
5.2 实验试剂药品及仪器	第57页
5.3 试验过程	第57页
5.4 实验结果及分析	第57-62页
5.4.1 磷酸刻蚀后AAO孔径的变化	第57-58页
5.4.2 AAO孔径变化对氢气传感器性能的影响	第58-61页
5.4.3 AAO孔径变化对钯薄膜电阻的影响	第61-62页
5.5 本章小结	第62-63页
第六章全文总结和展望	第63-65页
6.1 基于AAO模板的钯基电阻式氢气传感器研究总结	第63-64页
6.2 氢气传感器的研究展望	第64-65页
致谢	第65-66页
参考文献	第66-71页
攻硕期间取得的研究成果	第71-72页

本篇论文共72页，点击这进入下载页面。

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