离子感应场效应型传感器及其相关材料技术研究

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离子感应场效应型传感器及其相关材料技术研究

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离子感应场效应型传感器及其相关材料技术研究

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第一章绪论	第10-17页
1.1 引言	第10-11页
1.2 ISFET传感器简介	第11-15页
1.2.1 概述	第11-12页
1.2.2 ISFET传感器种类	第12-14页
1.2.3 ISFET传感器的基础应用简述	第14-15页
1.3 本文研究的目的及内容	第15-17页
第二章 ISFET的机理及理论模型研究	第17-30页
2.1 概述	第17-19页
2.2 电解液-绝缘体系统理论模型研究	第19-23页
2.2.1 表面基理论	第19-21页
2.2.2 双电层理论	第21-23页
2.3 基本MOSFET器件理论模型	第23-25页
2.4 基本ISFET器件理论模型	第25-29页
2.5 本章小结	第29-30页
第三章 ISFET的器件特性优化研究	第30-46页
3.1 TFT器件简介	第30-32页
3.2 关键材料的仿真模型	第32-35页
3.2.1 铁电材料的仿真模型	第32-34页
3.2.2 半导体材料的仿真模型	第34-35页
3.3 器件性能的优化技术研究	第35-43页
3.3.1 仿真方法的验证	第35-37页
3.3.2 源漏电极位置的优化研究	第37-38页
3.3.3 Fe ISFET的仿真研究	第38-43页
3.4 Fe ISFET的制备工艺流程研究	第43-45页
3.5 本章小结	第45-46页
第四章应用于ISFET的关键功能材料优化技术研究	第46-58页
4.1 铁酸铋薄膜优化技术简介	第46-52页
4.1.1 铁酸铋薄膜的制备工艺流程	第46-47页
4.1.2 退火操作对薄膜性能的影响	第47-48页
4.1.3 适用于Fe ISFET的BFO薄膜优化方法研究	第48-52页
4.2 铁酸铋的漏电流机理研究	第52-55页
4.3 优化后的Fe ISFET器件特性仿真	第55-57页
4.4 本章小结	第57-58页
第五章结论	第58-60页
5.1 论文的主要成果	第58-59页
5.2 论文的创新点	第59页
5.3 下一步工作的展望	第59-60页
致谢	第60-61页
参考文献	第61-65页
攻读硕士学位期间取得的研究成果	第65-66页

本篇论文共66页，点击这进入下载页面。

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