R-Theta型硅片传输机器人轨迹规划研究与实现

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R-Theta型硅片传输机器人轨迹规划研究与实现

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R-Theta型硅片传输机器人轨迹规划研究与实现

论文目录
摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
第1章绪论	第9-19页
1.1 课题研究的背景及研究目的和意义	第9-11页
1.2 国内外的相关研究	第11-17页
1.2.1 硅片传输机器人发展历史	第11-12页
1.2.2 硅片传输机器人的研究现状	第12-15页
1.2.3 机器人轨迹规划的研究现状	第15-17页
1.3 本文主要研究内容及章节安排	第17-18页
1.4 本章小结	第18-19页
第2章运动学与动力学模型建立与分析	第19-30页
2.1 硅片传输机器人结构分析	第19-21页
2.2 硅片传输机器人运动学模型建立	第21-25页
2.3 硅片传输机器人动力学模型建立	第25-28页
2.4 本章小结	第28-30页
第3章硅片传输机器人轨迹规划研究	第30-59页
3.1 机器人轨迹规划总体思路	第30-31页
3.1.1 关节空间规划方法	第30页
3.1.2 笛卡尔空间规划方法	第30-31页
3.2 时间最优轨迹规划	第31-45页
3.2.1 动力学参数化变换	第32-33页
3.2.2 机器人运动约束	第33-34页
3.2.3 基于数值积分法的时间最优轨迹规划算法	第34-39页
3.2.4 时间最优轨迹规划仿真	第39-45页
3.3 基于凸优化方法的光滑时间最优轨迹规划	第45-58页
3.3.1 非线性变换	第45-47页
3.3.2 光滑时间最优轨迹规划问题数值求解	第47-51页
3.3.3 光滑时间最优轨迹规划仿真	第51-58页
3.4 本章小结	第58-59页
第4章控制系统软硬件平台设计与实现	第59-91页
4.1 控制系统总体方案	第59-60页
4.2 基于PCIe总线的运动控制板卡设计	第60-83页
4.2.1 板卡总体设计	第60-63页
4.2.2 板卡各模块电路设计	第63-72页
4.2.3 板卡PCB设计	第72-79页
4.2.4 FPGA逻辑设计	第79-83页
4.3 基于RTX的软件平台设计	第83-90页
4.3.1 软件整体架构	第84-85页
4.3.2 RTX环境下PCIe板卡实时驱动的开发	第85-88页
4.3.3 实时控制程序的开发	第88-89页
4.3.4 控制系统调试界面程序	第89-90页
4.4 本章小结	第90-91页
第5章硅片传输机器人轨迹规划实验	第91-95页
5.1 硅片传输机器人控制系统调试现场	第91-92页
5.2 单轴电机控制结果	第92-93页
5.3 轨迹规划实现	第93-94页
5.4 本章小结	第94-95页
结论	第95-97页
参考文献	第97-101页
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果	第101-103页
致谢	第103页

本篇论文共103页，点击这进入下载页面。

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