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晶圆厂炉管设备TEOS的产能提升研究

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晶圆厂炉管设备TEOS的产能提升研究
论文目录
 
摘要第1-7页
ABSTRACT第7-10页
第一章 绪论第10-15页
  1.1 研究背景第10-13页
  1.2 课题的来源及意义第13页
  1.3 炉管TEOS产能的国内外现状第13-14页
  1.4 本文思路和主要内容第14-15页
第二章 六西格玛以及产能提升理论基础与应用方法综述第15-22页
  2.1 六西格玛思想方法与DMAIC第15-16页
  2.2 六西格玛常用工具第16-18页
    2.2.1 帕累托图和 80/20原则第17页
    2.2.2 标杆管理第17-18页
    2.2.3 控制图第18页
    2.2.4 关联图和系统图第18页
  2.3 全局设备效率OEE第18-19页
  2.4 极限生产速度第19-21页
  2.5 基础IE之动作分析和时间研究第21-22页
第三章 炉管TEOS机台群组产能提升问题的定义及量测第22-32页
  3.1 炉管TEOS制程简介第22-25页
  3.2 突发的产能问题第25-26页
  3.3 产能量测第26-32页
第四章 产能提升的对策分析与实施第32-54页
  4.1 可用时间提升第32-41页
    4.1.1 计划内停机第33-36页
    4.1.2 非计划内停机第36-41页
  4.2 性能开动率提升第41-44页
  4.3 合格品率保证第44页
  4.4 极限生产速度提升第44-54页
    4.4.1 加快机械手臂传送速度第48-51页
    4.4.2 优化反应程式减少时间浪费第51-54页
第五章 产能提升的效果确认与实施对策的管控第54-58页
  5.1 时间可用性第54页
  5.2 性能开动率第54-55页
  5.3 极限生产速度第55-56页
  5.4 整体产能提升第56-57页
  5.5 实施对策的管控第57-58页
第六章 总结与展望第58-61页
  6.1 总结第58-60页
  6.2 本文的不足及展望第60-61页
参考文献第61-63页
致谢第63-64页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第64页

本篇论文共64页,点击这进入下载页面
 
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