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高K/GaAs MOS界面特性仿真研究
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高K/GaAs MOS界面特性仿真研究
论文目录
摘要
第1-6页
ABSTRACT
第6-11页
符号对照表
第11-14页
缩略语对照表
第14-17页
第一章 绪论
第17-23页
1.1 研究背景及意义
第17-19页
1.2 高K/GaAs MOS界面特性研究进展
第19-20页
1.3 论文结构及安排
第20-23页
第二章 高K/GaAs MOS仿真模型
第23-37页
2.1 金属栅/高K/GaAs结构中的电荷分布
第23-25页
2.2 Sentaurus TCAD简介
第25-26页
2.3 器件物理模型
第26-35页
2.3.1 陷阱模型
第26-27页
2.3.2 迁移率模型
第27-30页
2.3.3 产生复合模型
第30-31页
2.3.4 量子模型
第31-34页
2.3.5 GaAs能带模型
第34-35页
2.4 本章小节
第35-37页
第三章 高K/GaAs MOS电容特性仿真
第37-53页
3.1 金属栅/高K/GaAs MOS理想C-V仿真
第37-39页
3.2 界面陷阱对栅电容的影响仿真
第39-45页
3.2.1 界面陷阱概述
第39-41页
3.2.2 不同界面陷阱密度仿真
第41-42页
3.2.3 禁带中不同位置的界面陷阱仿真
第42-45页
3.3 界面陷阱的频散效应
第45-48页
3.4 仿真与实验结果对比
第48-51页
3.5 本章小结
第51-53页
第四章 高K/GaAs MOS器件特性仿真
第53-65页
4.1 高K/GaAs MOSFET短沟道效应
第53-55页
4.2 界面陷阱对电学特性的影响仿真
第55-60页
4.2.1 界面陷阱对阈值电压的影响
第55-58页
4.2.2 界面陷阱对迁移率的影响
第58-59页
4.2.3 界面陷阱对跨导的影响
第59-60页
4.3 界面陷阱对GaAs和In_(0.53)Ga_(0.47)As MOSFET影响对比
第60-63页
4.4 本章小结
第63-65页
第五章 总结与展望
第65-67页
5.1 总结
第65-66页
5.2 展望
第66-67页
参考文献
第67-69页
致谢
第69-71页
作者简介
第71-72页
本篇论文共
72
页,
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。
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