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透明栅AlGaN/GaN HEMT器件退火及光响应研究

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透明栅AlGaN/GaN HEMT器件退火及光响应研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
符号对照表第11-13页
缩略语对照表第13-16页
第一章 绪论第16-22页
  1.1 AlGaN/GaN HEMT研究背景第16-17页
  1.2 透明柵AlGaN/GaN HEMT的研究现状第17-20页
  1.3 本文的主要内容安排第20-22页
第二章 透明柵AlGaN/GaN HEMT基本理论及其制备第22-36页
  2.1 AlGaN/GaN HEMT工作原理第22-24页
  2.2 肖特基接触基本理论第24-31页
    2.2.1 金半接触的基本理论第25-29页
    2.2.2 肖特基参数的I-V测试提取和表征方法第29-31页
  2.3 透明柵AlGaN/GaN HEMT的制备第31-34页
  2.4 本章小结第34-36页
第三章 透明柵AlGaN/GaN HEMT的测试及其特性研究第36-52页
  3.1 AlGaN/GaN HEMT器件特性系统简介第36-37页
  3.2 AlGaN/GaN HEMT器件基本特性分析第37-42页
    3.2.1 AlGaN/GaN HEMT直流特性分析第37-40页
    3.2.2 AlGaN/GaN HEMT交流特性分析第40-42页
  3.3 AlGaN/GaN HEMT沟道界面态的表征及测试结果分析第42-49页
    3.3.1 变频电导法测试缺陷的基本原理介绍第43-45页
    3.3.2 基于AlGaN/GaN HEMT电导法的等效电路模型修正第45-47页
    3.3.3 测试结果分析第47-49页
  3.4 本章小结第49-52页
第四章 透明柵AlGaN/GaN HEMT退火特性研究第52-62页
  4.1 退火对栅电极的透明度的影响第52-53页
  4.2 器件退火前后基本特性的对比分析第53-57页
  4.3 器件退火前后界面特性研究第57-61页
  4.4 本章小结第61-62页
第五章 光照对透明柵AlGaN/GaN HEMT的影响第62-72页
  5.1 光照对透明柵AlGaN/GaN HEMT直流特性的影响第62-64页
  5.2 光照前后透明柵AlGaN/GaN HEMT界面特性分析第64-67页
  5.3 光照对短期应力下透明柵AlGaN/GaN HEMT的影响第67-70页
  5.4 本章小结第70-72页
第六章 结束语第72-76页
参考文献第76-80页
致谢第80-82页
作者简介第82-83页

本篇论文共83页,点击这进入下载页面
 
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