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基于自动建模方法的互连可靠性研究

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基于自动建模方法的互连可靠性研究
论文目录
 
摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 绪论第9-15页
  1.1 选题背景及研究意义第9-11页
  1.2 国际研究进展第11-14页
    1.2.1 互连可靠性的研究第11-13页
    1.2.2 人工神经网络的研究第13-14页
  1.3 论文主要工作与结构安排第14-15页
第二章 电路互连线中的电迁移分析第15-25页
  2.1 EM失效机制第15-16页
  2.2 原子通量散度(AFD)第16-17页
  2.3 EM分析方法第17-24页
    2.3.1 扩散路径方法第17-19页
    2.3.2 驱动力方法第19-23页
    2.3.3 其他分析方法第23-24页
  2.4 本章小结第24-25页
第三章 基于自动建模算法的人工神经网络第25-39页
  3.1 可靠性建模方法第25-26页
    3.1.1 响应曲面模型第25-26页
    3.1.2 人工神经网络模型第26页
  3.2 人工神经网络建模方法第26-33页
    3.2.1 人工神经网络简介第26-29页
    3.2.2 人工神经网络的训练过程第29-33页
  3.3 基于自动建模算法的人工神经网络第33-38页
    3.3.1 自动建模算法第33-36页
    3.3.2 参数化建模第36-38页
  3.4 本章小结第38-39页
第四章 互连可靠性分析第39-58页
  4.1 EM分析实例第40-45页
  4.2 AFD的基本分析第45-53页
    4.2.1 温度、电流对AFD的影响第45-48页
    4.2.2 互连线材料特性对AFD的影响第48-49页
    4.2.3 阻挡层厚度对AFD的影响第49-50页
    4.2.4 晶体管的漏极与源极之间的距离L以及漏极(源极)接触的间距W对AFD的影响第50-52页
    4.2.5 各种驱动力对AFD的贡献第52-53页
  4.3 AFD的敏感度分析第53-55页
  4.4 AFD的蒙特卡洛分析第55-57页
  4.5 本章小结第57-58页
第五章 总结与展望第58-60页
  5.1 论文总结第58-59页
  5.2 未来工作展望第59-60页
参考文献第60-65页
发表论文和参加科研情况说明第65-66页
致谢第66-67页

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