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基于电磁驱动的倒装机键合装置设计

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基于电磁驱动的倒装机键合装置设计
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第1章 绪论第8-16页
  1.1 课题研究背景及意义第8-13页
  1.2 VCM基本原理介绍第13-14页
  1.3 本文主要研究内容第14-16页
第2章 倒装机键合装置结构设计第16-22页
  2.1 倒装机键合装置介绍第16-17页
  2.2 键合装置设计第17-21页
    2.2.1 键合装置的结构第18-19页
    2.2.2 电磁驱动装置的结构第19页
    2.2.3 键合头的结构第19-21页
  2.3 本章小结第21-22页
第3章 倒装机键合装置电磁场分析第22-42页
  3.1 电磁场理论第22-30页
    3.1.1 Maxwell方程组第22-23页
    3.1.2 磁位及其偏微分方程第23-25页
    3.1.3 边界条件和边值问题—定解条件第25-27页
    3.1.4 磁场能量与电磁力第27-30页
  3.2 电磁驱动装置电磁场数值分析第30-41页
    3.2.1 JMAG-Designer简介第30-32页
    3.2.2 JMAG-Designer分析过程第32-38页
    3.2.3 电磁驱动装置电磁场计算结果第38-39页
    3.2.4 电磁驱动装置优化设计方案第39-41页
  3.3 本章小结第41-42页
第4章 倒装机键合装置温度场分析第42-52页
  4.1 温度场理论第42-45页
    4.1.1 稳态导热基本定律第42-43页
    4.1.2 导热微分方程第43-44页
    4.1.3 温度场单值性条件第44-45页
    4.1.4 三维稳态温度场边值问题第45页
  4.2 热变形理论第45-46页
  4.3 电磁驱动装置温度场数值分析第46-51页
  4.4 本章小结第51-52页
结论第52-54页
参考文献第54-56页
致谢第56页

本篇论文共56页,点击这进入下载页面
 
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