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基于内聚力模型的表面波无损表征Low-k薄膜的粘附性研究
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基于内聚力模型的表面波无损表征Low-k薄膜的粘附性研究
论文目录
摘要
第1-5页
ABSTRACT
第5-9页
第一章 绪论
第9-13页
1.1 研究背景及意义
第9-11页
1.2 国内外研究进展
第11-12页
1.3 课题研究主要内容
第12页
1.4 本章小结
第12-13页
第二章 薄膜粘附性的表征
第13-21页
2.1 薄膜粘附性的表征方法
第13-20页
2.2 将有限元方法引入到薄膜粘附性表征的意义
第20页
2.3 本章小结
第20-21页
第三章 有限元仿真方法在声表面波技术中的应用
第21-44页
3.1 基于内聚力模型表征薄膜粘附性
第22-35页
3.1.1 内聚力模型理论
第22-27页
3.1.2 有限元INTER202单元
第27-28页
3.1.3 薄膜粘附性的有限元仿真
第28-34页
3.1.4 基于内聚力模型的有限元仿真结果分析
第34-35页
3.2 有限元方法研究粗糙度对表面波频散曲线的影响
第35-43页
3.2.1 粗糙度理论及描述
第35-36页
3.2.2 利用有限元方法计算考虑粗糙度的表面波频散曲线
第36-40页
3.2.3 利用表面波实验方法确定粗糙度对理论频散曲线影响
第40-43页
3.3 本章总结
第43-44页
第四章 声表面波表征薄膜粘附性
第44-65页
4.1 表面波在固体中传播特性研究
第45-52页
4.1.1 表面波在基本薄膜结构中的传播特性
第45-49页
4.1.2 薄膜与基底间界面粘附性对表面波频散曲线的影响
第49-52页
4.2 激光激发表面波实验系统
第52-54页
4.3 最小二乘法进行理论与实验频散曲线的拟合
第54-55页
4.4 LSAWs技术检测薄膜与基底之间粘附性
第55-63页
4.5 本章小结
第63-65页
第五章 总结与展望
第65-67页
5.1 总结
第65-66页
5.2 展望
第66-67页
参考文献
第67-71页
发表论文和参加科研情况说明
第71-72页
致谢
第72页
本篇论文共
72
页,
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。
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