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新型FBAR及传感技术的研究

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新型FBAR及传感技术的研究
论文目录
 
致谢第1-5页
摘要第5-7页
Abstract第7-9页
缩略词表第9-13页
1 绪论第13-29页
  1.1 课题研究背景第13-14页
  1.2 FBAR的工作原理及基本结构第14-25页
    1.2.1 FBAR工作的基本原理第14-17页
    1.2.2 衡量FBAR的性能参数第17-18页
    1.2.3 适用于FBAR的压电材料第18-20页
    1.2.4 FBAR的基本结构第20-25页
  1.3 FBAR的研究现状及新型FBAR研究意义第25-27页
  1.4 论文的研究内容和章节安排第27-29页
    1.4.1 论文的研究内容第27页
    1.4.2 各章节内容安排第27-29页
2 新型FBAR的理论与仿真第29-47页
  2.1 理论分析第29-39页
    2.1.1 压电方程及声波传输第29-37页
    2.1.2 声阻抗理论第37-39页
  2.2 COMSOL有限元仿真第39-44页
  2.3 Mason模型电学仿真第44-46页
  2.4 本章小结第46-47页
3 新型FBAR的制备与测试第47-59页
  3.1 PI-FBAR的制备第47-54页
    3.1.1 PI支撑层的制备流程第47-48页
    3.1.2 PI-FBAR的制备流程第48-51页
    3.1.3 ZnO压电层的制备和表征第51-54页
  3.2 PI-FBAR器件的测试第54-57页
    3.2.1 不同PI厚度测试结果对比第54-55页
    3.2.2 PI-FBAR与背刻蚀FBAR测试结果对比第55-56页
    3.2.3 PI-FABR测试与仿真对比第56-57页
  3.3 本章小结第57-59页
4 任意衬底上的新型FBAR研究第59-67页
  4.1 在不同衬底上制备及测试第59-61页
    4.1.1 金属铜衬底FBAR第59-60页
    4.1.2 透明玻璃衬底FBAR第60页
    4.1.3 柔性纸衬底FBAR第60-61页
  4.2 测试结果分析第61-64页
    4.2.1 谐振频率第63页
    4.2.2 品质因数第63-64页
  4.3 本章小结第64-67页
5 新型FBAR的应用第67-81页
  5.1 温度传感第67-69页
    5.1.1 FBAR温度传感原理第67-68页
    5.1.2 新型FBAR的温度传感测试第68-69页
  5.2 磁力传感第69-72页
    5.2.1 FBAR磁力传感原理第69-70页
    5.2.2 制备及测试第70-72页
  5.3 紫外线传感第72-74页
    5.3.1 FBAR紫外线传感原理第72页
    5.3.2 新型FBAR紫外线传感测试第72-74页
  5.4 可集成方面第74-79页
    5.4.1 制备流程第74-76页
    5.4.2 测试结果第76-77页
    5.4.3 与射频集成电路集成第77-79页
  5.5 本章小结第79-81页
6 总结与展望第81-85页
  6.1 论文主要研究内容和成果第81-82页
  6.2 论文的不足之处及进一步工作第82-85页
参考文献第85-91页
作者简历及在学期间所取得的科研成果第91-92页

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