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新型FBAR及传感技术的研究
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新型FBAR及传感技术的研究
论文目录
致谢
第1-5页
摘要
第5-7页
Abstract
第7-9页
缩略词表
第9-13页
1 绪论
第13-29页
1.1 课题研究背景
第13-14页
1.2 FBAR的工作原理及基本结构
第14-25页
1.2.1 FBAR工作的基本原理
第14-17页
1.2.2 衡量FBAR的性能参数
第17-18页
1.2.3 适用于FBAR的压电材料
第18-20页
1.2.4 FBAR的基本结构
第20-25页
1.3 FBAR的研究现状及新型FBAR研究意义
第25-27页
1.4 论文的研究内容和章节安排
第27-29页
1.4.1 论文的研究内容
第27页
1.4.2 各章节内容安排
第27-29页
2 新型FBAR的理论与仿真
第29-47页
2.1 理论分析
第29-39页
2.1.1 压电方程及声波传输
第29-37页
2.1.2 声阻抗理论
第37-39页
2.2 COMSOL有限元仿真
第39-44页
2.3 Mason模型电学仿真
第44-46页
2.4 本章小结
第46-47页
3 新型FBAR的制备与测试
第47-59页
3.1 PI-FBAR的制备
第47-54页
3.1.1 PI支撑层的制备流程
第47-48页
3.1.2 PI-FBAR的制备流程
第48-51页
3.1.3 ZnO压电层的制备和表征
第51-54页
3.2 PI-FBAR器件的测试
第54-57页
3.2.1 不同PI厚度测试结果对比
第54-55页
3.2.2 PI-FBAR与背刻蚀FBAR测试结果对比
第55-56页
3.2.3 PI-FABR测试与仿真对比
第56-57页
3.3 本章小结
第57-59页
4 任意衬底上的新型FBAR研究
第59-67页
4.1 在不同衬底上制备及测试
第59-61页
4.1.1 金属铜衬底FBAR
第59-60页
4.1.2 透明玻璃衬底FBAR
第60页
4.1.3 柔性纸衬底FBAR
第60-61页
4.2 测试结果分析
第61-64页
4.2.1 谐振频率
第63页
4.2.2 品质因数
第63-64页
4.3 本章小结
第64-67页
5 新型FBAR的应用
第67-81页
5.1 温度传感
第67-69页
5.1.1 FBAR温度传感原理
第67-68页
5.1.2 新型FBAR的温度传感测试
第68-69页
5.2 磁力传感
第69-72页
5.2.1 FBAR磁力传感原理
第69-70页
5.2.2 制备及测试
第70-72页
5.3 紫外线传感
第72-74页
5.3.1 FBAR紫外线传感原理
第72页
5.3.2 新型FBAR紫外线传感测试
第72-74页
5.4 可集成方面
第74-79页
5.4.1 制备流程
第74-76页
5.4.2 测试结果
第76-77页
5.4.3 与射频集成电路集成
第77-79页
5.5 本章小结
第79-81页
6 总结与展望
第81-85页
6.1 论文主要研究内容和成果
第81-82页
6.2 论文的不足之处及进一步工作
第82-85页
参考文献
第85-91页
作者简历及在学期间所取得的科研成果
第91-92页
本篇论文共
92
页,
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