应力补偿的温补晶体振荡器研究

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应力补偿的温补晶体振荡器研究

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应力补偿的温补晶体振荡器研究

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-11页
符号对照表	第11-12页
缩略语对照表	第12-15页
第一章绪论	第15-23页
1.1 石英晶体谐振器的结构	第15-16页
1.2 晶体振荡器的噪声	第16-17页
1.3 频率准确度和稳定度	第17-18页
1.4 传统晶体振荡器	第18页
1.5 晶体振荡器的发展状况	第18-20页
1.6 内容及结构安排	第20-23页
第二章晶体振荡器的相关特性	第23-35页
2.1 石英振荡器物理特性	第23-26页
2.1.1 晶体电抗特性	第23-25页
2.1.2 晶体的切角	第25页
2.1.3 晶体激励电流	第25-26页
2.2 晶体的温频特性	第26-30页
2.2.1 晶体的温频特性曲线	第26-28页
2.2.2 晶体的频率温度系数	第28-30页
2.3 晶体的力频特性	第30-34页
2.3.1 力灵敏度系数	第30-31页
2.3.2 影响力敏系数的关紧因素	第31-33页
2.3.3 力频效应传感器	第33-34页
2.4 小结	第34-35页
第三章应力补偿晶振的设计	第35-51页
3.1 传统晶振的补偿算法	第35-37页
3.1.1 理论计算方法	第35页
3.1.2 实际测量方法	第35-37页
3.2 应力补偿的分析	第37-42页
3.2.1 应力补偿的算法	第37-40页
3.2.2 产生应力的方法	第40-42页
3.3 力学模型分析	第42-49页
3.3.1 晶体与薄膜的接触模型	第42-43页
3.3.2 薄膜与晶体内应力分析	第43-45页
3.3.3 整体体热应力分析	第45-48页
3.3.4 镀膜参数的确定	第48-49页
3.4 小结	第49-51页
第四章晶体镀膜实验及分析	第51-69页
4.1 镀膜工艺设计	第51页
4.2 实验过程设计	第51-52页
4.3 晶体老化率测试	第52-55页
4.3.1 晶体老化率测量方案	第52-53页
4.3.2 老化率测量实验	第53-55页
4.4 实验结果及分析	第55-65页
4.4.1 条形薄膜实验	第55-57页
4.4.2 环形薄膜实验	第57-61页
4.4.3 切角对晶体的影响实验	第61-65页
4.5 薄膜应力释放问题	第65-66页
4.6 实验总结	第66-67页
4.7 小结	第67-69页
第五章总结与展望	第69-73页
5.1 总结	第69-70页
5.1.1 应力补偿的优势	第69页
5.1.2 应力补偿工艺	第69-70页
5.2 展望	第70-73页
参考文献	第73-77页
致谢	第77-79页
作者简介	第79-80页

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