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工业型扫描探针显微平台样品粗定位技术研究

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工业型扫描探针显微平台样品粗定位技术研究
论文目录
 
摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 绪论第9-16页
  1.1 引言第9-11页
  1.2 工业型扫描探针显微镜的研究意义第11-13页
  1.3 粗定位技术的研究状况第13-15页
  1.4 本文主要研究内容第15-16页
第二章 工业SPM系统及粗定位系统设计第16-23页
  2.1 工业SPM总体设计第16-21页
    2.1.1 工业SPM平台结构设计第16-17页
    2.1.2 工业SPM工作流程第17-18页
    2.1.3 电机重复定位精度的标定第18-21页
  2.2 粗定位系统设计第21-22页
  2.3 本章小结第22-23页
第三章 自动聚焦技术研究第23-32页
  3.1 聚焦评价算子的选定第23-28页
    3.1.1 聚焦评价算法理论分析第23-24页
    3.1.2 聚焦评价算法性能比较第24-26页
    3.1.3 实验结果分析第26-28页
  3.2 改进的爬坡式焦点搜索策略第28-30页
    3.2.1 爬坡算法第28页
    3.2.2 改进的变步长爬坡策略第28-30页
  3.3 聚焦实验结果及分析第30-31页
  3.4 本章小结第31-32页
第四章 图像匹配技术研究第32-43页
  4.1 图像匹配算法理论分析第32-40页
    4.1.1 SIFT算法的原理与实现步骤第32-36页
    4.1.2 SURF算法的原理与实现步骤第36-39页
    4.1.3 SIFT算法与SURF算法的比较第39-40页
  4.2 图像匹配的实现第40-42页
    4.2.1 匹配原理第40-41页
    4.2.2 双向匹配第41-42页
  4.3 本章小结第42-43页
第五章 粗定位的实现第43-50页
  5.1 系统坐标系的建立第43-44页
  5.2 定位实验方法的讨论第44-47页
    5.2.1 模板的选择第44-45页
    5.2.2 像素当量的标定第45-46页
    5.2.3 测头间距离的标定第46页
    5.2.4 标记与待测区距离的标定第46-47页
  5.3 标记的定位第47-49页
    5.3.1 角度偏差的确定第47-48页
    5.3.2 空间位置偏移量的确定第48-49页
  5.4 本章小结第49-50页
第六章 定位实验结果及分析第50-57页
  6.1 定位软件的设计第50-52页
  6.2 定位实验第52-55页
  6.3 误差分析第55-56页
  6.4 本章小结第56-57页
第七章 总结与展望第57-59页
  7.1 工作总结第57页
  7.2 工作展望第57-59页
参考文献第59-64页
发表论文和参加科研情况说明第64-65页
致谢第65-67页

本篇论文共67页,点击这进入下载页面
 
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