基于SPR技术的聚酰亚胺湿敏特性研究

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基于SPR技术的聚酰亚胺湿敏特性研究

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基于SPR技术的聚酰亚胺湿敏特性研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第1章绪论	第10-16页
1.1 研究的目的和意义	第10-11页
1.2 湿敏传感器的发展	第11-13页
1.3 表面等离子体共振技术的发展	第13-15页
1.4 论文研究内容及论文结构	第15-16页
1.4.1 论文研究内容	第15页
1.4.2 论文结构	第15-16页
第二章 SPR湿度传感器结构及原理	第16-27页
2.1 聚酰亚胺介绍	第16页
2.2 湿度的表示方法	第16-18页
2.3 湿度传感器的性能要求	第18-19页
2.3.1 湿度量程	第18页
2.3.2 湿度传感器灵敏度	第18页
2.3.3 稳定性和漂移	第18-19页
2.3.4 可靠性	第19页
2.4 传感器的分类及结构	第19-22页
2.4.1 陶瓷类湿度传感器	第19-20页
2.4.2 高分子聚合物湿度传感器	第20-22页
2.5 表面等离子共振（SPR）原理	第22-26页
2.5.1 SPR传感器原理	第22-23页
2.5.2 SPR传感器调制方式	第23-24页
2.5.3 SPR传感器结构类型	第24-26页
2.6 本章小结	第26-27页
第三章表面粗糙度对金膜的SPR的影响测试	第27-32页
3.1 样品制备及表征	第27-29页
3.2 样品SPR测试及结论	第29-31页
3.3 本章小结	第31-32页
第四章聚酰亚胺湿敏特性的SPR测试	第32-50页
4.1 实验过程	第32-39页
4.1.1 实验材料及流程	第32-33页
4.1.2 样品制备	第33-39页
4.2 湿度测试	第39-49页
4.2.1 传感薄膜SPR湿度测试分析	第40-41页
4.2.2 不同厚度的聚酰亚胺SPR测试	第41-42页
4.2.3 不同湿度聚酰亚胺SPR测试	第42-48页
4.2.4 聚酰亚胺湿敏特性可靠性测试	第48-49页
4.3 本章小结	第49-50页
结论	第50-51页
参考文献	第51-55页
攻读硕士期间发表的论文	第55-56页
致谢	第56页

本篇论文共56页，点击这进入下载页面。

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