教育论文网

微纳器件介电薄膜的制造工艺与特性研究
硕士博士毕业论文站内搜索    
分类：教育论文网→工业技术论文→无线电电子学、电信技术论文→半导体技术论文→场效应器件论文
微纳器件介电薄膜的制造工艺与特性研究
论文目录
 
致谢第1-6页
摘要第6-7页
缩略词表第7-8页
Abstract第8-12页
1 绪论第12-22页
　　1.1 引言第12-14页
　　1.2 介电薄膜的应用背景第14-16页
　　1.3 高K栅介质的选择第16-19页
　　　　1.3.1 Si_3N_4和SiO_xN_y第17页
　　　　1.3.2 ⅣB元素(Ti、Zr、Hf)氧化物第17-18页
　　　　1.3.3 ⅢA元素(Al)氧化物第18页
　　　　1.3.4 ⅢB族金属(Y、La)氧化物第18-19页
　　　　1.3.5 ⅤB族金属(Ta)氧化物第19页
　　1.4 论文的研究目的和内容第19-22页
2 介质薄膜的漏电机理分析第22-36页
　　2.1 介质薄膜的导电机理第22-23页
　　2.2 电极限制型导电机理第23-28页
　　　　2.2.1 肖特基(或热离子)发射第23-25页
　　　　2.2.2 F-N隧穿第25-26页
　　　　2.2.3 直接隧穿第26-27页
　　　　2.2.4 热离子场发射第27-28页
　　2.3 体限制型导电机理第28-36页
　　　　2.3.1 普尔-法兰克发射第28-29页
　　　　2.3.2 跃迁传导第29-30页
　　　　2.3.3 欧姆电导第30-31页
　　　　2.3.4 空间电荷限制电导第31-33页
　　　　2.3.5 离子电导第33-36页
3 Ta_2O_5薄膜特性研究第36-60页
　　3.1 薄膜制备方法第36-41页
　　　　3.1.1 直流磁控溅射第36-38页
　　　　3.1.2 化学气相沉积第38-39页
　　　　3.1.3 原子层淀积第39-41页
　　3.2 薄膜生长及其表征方法第41-45页
　　3.3 实验中样品的制备第45-49页
　　　　3.3.1 DC Sputtering制备W电极第46-47页
　　　　3.3.2 ALD制备Al_2O_3/ZnO薄膜第47-49页
　　　　3.3.3 CVD制备Ta_2O_5薄膜第49页
　　3.4 Ta_2O_5薄膜特性分析第49-60页
　　　　3.4.1 表面光滑作用第49-53页
　　　　3.4.2 电学特性分析第53-60页
4 CeO_2与La_2O_3薄膜特性研究第60-71页
　　4.1 La_2O_3/Si的热稳定性研究第60-64页
　　4.2 CeO_2/La_2O_3/Si的XPS研究第64-71页
5 总结与展望第71-74页
　　5.1 总结第71-73页
　　5.2 展望第73-74页
参考文献第74-82页
作者简历及在学校期间所取得的科研成果第82-83页
作者简历第82页
发表和录用文章第82-83页

本篇论文共83页，点击这进入下载页面。
 
更多论文
微纳器件介电薄膜的制造工艺与特性
新型3D钙钛矿材料电致发光器件研究
新型离线式高压LED驱动IC设计
PCB板图的知识产权性及其保护模式研
一种CMOS带隙基准电压源的设计与仿
同尺寸集成电路板下料算法研究
印刷线路板焚烧过程中含溴污染物的
一种忆阻器的分数阶模型及其应用研
盲自适应波束成形关键技术及应用研
软件无线电中带通滤波器的分析与设
MVDR多波束方位—时延—多普勒三维
射频功率放大器的设计与实现
基于GPS驯服压控晶体振荡器的设计与
大功率高速电光调制系统研制及其在
SSB（单边带）混频器设计
SSB（单边带）混频器的优化设计与验
基于FPGA的大屏幕多投影无缝拼接系
基于I~2C总线接口的低功耗10bit AD
基于FPGA的360度全景泊车辅助系统的
24位48KSPS多位量化∑-Δ ADC的设计
水平线天线在涂敷各向异性介质理想
缝隙型宽频带微带天线的设计及其应
超宽带检测天线的研究与设计
基于USB接口电源管理芯片的设计与实
基于导联信号组合的脑电信号处理及
PRN-FSK系统目标探测信号处理技术
基于AMR的网络语音处理算法研究与性
噪声环境下的音频同步算法的研究
基于元音/a/与/i/的病态嗓音识别与
电信公司无线网络故障管理系统的设
基于TePA基础架构的无线网络性能测
平凉移动宽带网络规划设计与实施
居民小区电信光接入网系统规划与设
油井超声通信系统的设计
甘肃铁通SDH传输网安全性分析研究
基于Nginx的视频转码资源动态调度技
基于多输入多输出技术的片上模式复
基于DASH技术的评价模型与自适应算
动态自适应流媒体技术的研究与实现
基于Chirp扩频的移动平台水声通信技
OFDMA网络上下行资源联合分配策略研
小基站异构网络中的负载均衡与资源
稀疏码多址接入技术研究
WLAN关键技术与红河移动网络维护和
移动云环境中基于属性的轻量级访问
民航KU波段卫星网载波优化方案的实
PON技术研究及其在宽带网络规划设计
南昌电信WiFi服务效率提升的研究及
地市级TD-LTE无线试验网建设规划
电信城市光网建设研究与设计
基于PON技术的商务楼宇信息网络规划
数字光纤分布系统RAS在金华电信无线
 
Ta_2O_5薄膜论文 表面粗糙度论文 CeO_2/La_2O_3论文 XPS能谱论文
版权申明：目录由用户long**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved