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压电陶瓷微定位系统的设计及仿真

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压电陶瓷微定位系统的设计及仿真
论文目录
 
摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第1章 绪论第12-17页
  1.1 课题来源及研究意义第12-13页
  1.2 微定位平台研究现状第13-14页
  1.3 驱动电源研究现状第14-15页
  1.4 压电陶瓷的迟滞模型及控制方法第15-16页
  1.5 本文研究内容第16-17页
第2章 压电陶瓷的基本特性第17-22页
  2.1 压电陶瓷概述第17-18页
    2.1.1 压电陶瓷的极化第17页
    2.1.2 压电效应与逆压电效应第17-18页
  2.2 压电陶瓷的固有特性第18-20页
    2.2.1 电容特性第18-19页
    2.2.2 迟滞特性第19-20页
    2.2.3 蠕变特性第20页
  2.3 压电陶瓷促动器选型第20-21页
  2.4 本章小结第21-22页
第3章 微定位系统总体方案第22-29页
  3.1 微定位系统的结构第22页
  3.2 微定位系统放大机构第22-23页
  3.3 压电陶瓷驱动电源第23-26页
    3.3.1 驱动电源的控制方法第23-26页
    3.3.2 驱动电源方案第26页
  3.4 微定位系统的控制算法第26-28页
    3.4.1 模糊控制基本原理第26-27页
    3.4.2 微定位系统控制方法第27-28页
  3.5 本章小结第28-29页
第4章 微定位系统的放大机构第29-39页
  4.1 柔性铰链刚度分析第29-31页
    4.1.1 柔性铰链绕z轴的转动刚度第29-31页
    4.1.2 柔性铰链沿x轴的轴向刚度第31页
  4.2 柔性铰链放大机构第31-36页
    4.2.1 柔性放大机构放大率计算第32-35页
    4.2.2 柔性铰链放大机构固有频率第35-36页
  4.3 柔性铰链放大机构有限元分析第36-38页
  4.4 本章小结第38-39页
第5章 压电陶瓷驱动电源第39-55页
  5.1 驱动电源设计要求第39页
  5.2 驱动电源的设计第39-48页
    5.2.1 运算放大器选型第39-40页
    5.2.2 驱动电源放大电路第40-41页
    5.2.3 驱动电源的输入失调电压补偿第41-42页
    5.2.4 运放PA92的相位补偿第42-44页
    5.2.5 驱动电源稳定性分析第44-47页
    5.2.6 驱动电源的限流措施第47-48页
  5.3 驱动电源的供电电路第48-50页
    5.3.1 低压直流电源设计第48-49页
    5.3.2 高压直流稳压电源设计第49-50页
  5.4 驱动电源仿真分析第50-53页
    5.4.1 正弦交流信号仿真分析第50-52页
    5.4.2 驱动电源线性度和误差分析第52-53页
    5.4.3 电源稳定性仿真分析第53页
  5.5 本章小结第53-55页
第6章 微定位系统数学模型及仿真分析第55-68页
  6.1 压电陶瓷迟滞模型第55-57页
  6.2 微定位系统的数学模型第57-60页
    6.2.1 驱动电源的数学模型第57页
    6.2.2 压电陶瓷促动器的数学模型第57-58页
    6.2.3 放大机构的传递函数第58页
    6.2.4 微定位系统的传递函数第58-60页
  6.3 基于LabVIEW的微定位系统闭环仿真模型第60-64页
    6.3.1 模糊控制器第60-61页
    6.3.2 基于LabVIEW的模糊控制器设计第61-63页
    6.3.3 基于LabVIEW的微定位系统仿真程序第63-64页
  6.4 微定位系统的仿真分析第64-67页
    6.4.1 微定位系统的三角波响应第64-65页
    6.4.2 微定位系统的阶跃响应第65-66页
    6.4.3 微定位系统的正弦响应第66-67页
  6.5 本章小结第67-68页
总结与展望第68-69页
致谢第69-70页
参考文献第70-73页

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