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ULSI铜互连线微观结构和应力研究

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ULSI铜互连线微观结构和应力研究
论文目录
 
中文摘要第1-4页
英文摘要第4-7页
第1章 绪论第7-15页
1.1 研究背景第7-11页
1.1.1 铝互连技术发展第8-9页
1.1.2 铜互连技术发展第9-11页
1.2 研究内容第11-15页
1.2.1 铜互连线的电徙动失效第11-12页
1.2.2 铜互连线的应力迁移失效第12-13页
1.2.3 铜互连线的层间扩散失效第13页
1.2.4 本论文研究内容第13-15页
第2章 实验样品制备和分析方法第15-23页
2.1 实验样品制备第15-18页
2.1.1 铜膜样品制备第15-16页
2.1.2 铜互连线样品制备第16-17页
2.1.3 热处理工艺的制定第17-18页
2.2 分析方法第18-23页
2.2.1 微观结构分析方法第18-19页
2.2.2 应力分析方法第19-23页
第3章 铜互连线微观结构研究第23-39页
3.1 铜互连线晶粒尺寸对电徙动影响第23-24页
3.2 铜互连线晶体结构取向对电徙动影响第24页
3.3 铜互连线晶粒尺寸研究第24-27页
3.3.1 铜膜晶粒尺寸第24-27页
3.3.2 铜互连线薄膜晶粒尺寸第27页
3.4 铜互连线织构研究第27-35页
3.4.1 铜膜织构第27-32页
3.4.2 铜互连线薄膜织构第32-35页
3.5 铜互连线加速电徙动实验结果讨论第35页
3.6 铜互连线扩散阻挡层研究第35-37页
3.7 本章小结第37-39页
第4章 铜互连线应力研究第39-51页
4.1 铜互连线应力产生第39页
4.2 铜互连线微观结构和应力的关系第39-40页
4.3 铜互连线宏观应力研究第40-42页
4.3.1 硅基铜膜宏观应力第40-41页
4.3.2 铜互连线薄膜宏观应力第41-42页
4.4 铜互连线计算机应力模拟第42-47页
4.4.1 模型建立第42-43页
4.4.2 网格划分第43页
4.4.3 边界条件和初始条件第43页
4.4.4 模拟结果和讨论第43-47页
4.5 铜互连线局域应力研究第47-49页
4.6 本章小结第49-51页
全文结论第51-53页
参考文献第53-59页
致谢第59页

本篇论文共59页,点击这进入下载页面
 
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