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SiC超结VDMOS研究与优化设计

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SiC超结VDMOS研究与优化设计
论文目录
 
中文摘要第1-10页
ABSTRACT第10-12页
第一章 绪论第12-19页
  1.1 研究背景和意义第12-15页
  1.2 国内外研究现状第15-17页
    1.2.1 SiC VDMOS研究现状第15-16页
    1.2.2 SiC超结研究现状第16-17页
  1.3 论文内容及安排第17-19页
第二章 SiC VDMOS和超结的基本理论第19-37页
  2.1 SiC材料介绍第19-21页
  2.2 SiC VDMOS的基本结构和工作原理第21-25页
    2.2.1 SiC VDMOS的基本结构第21-22页
    2.2.2 SiC VDMOS的工作原理第22-25页
  2.3 SiC VDMOS的主要电参数第25-31页
    2.3.1 阂值电压第25-26页
    2.3.2 击穿电压第26-29页
    2.3.3 导通电阻第29-31页
  2.4 超结的基本理论第31-36页
  2.5 本章小结第36-37页
第三章 SiC超结VDMOS器件结构设计第37-56页
  3.1 Atlas仿真模型介绍第37-40页
    3.1.1 能带变窄模型第37-38页
    3.1.2 迁移率模型第38-39页
    3.1.3 载流子产生-复合模型第39-40页
    3.1.4 碰撞电离模型第40页
  3.2 漂移区设计第40-45页
    3.2.1 漂移区厚度及浓度设计与优化第41-44页
    3.2.2 漂移区超结失配第44-45页
  3.3 P阱优化第45-48页
  3.4 JFET区优化第48-50页
  3.5 沟道长度优化第50-51页
  3.6 整体结构设计第51-55页
  3.7 本章小结第55-56页
第四章 改进超结VDMOS的设计及电特性对比第56-61页
  4.1 改进超结VDMOS的设计第56-59页
    4.1.1 设计原理第56-57页
    4.1.2 设计仿真第57-59页
  4.2 不同结构VDMOS电特性对比第59-60页
  4.3 本章小结第60-61页
第五章 总结与展望第61-63页
  5.1 总结第61-62页
  5.2 展望第62-63页
参考文献第63-67页
致谢第67-68页
攻读硕士研究生期间研究成果第68-69页
学位论文评阅及答辩情况表第69页

本篇论文共69页,点击这进入下载页面
 
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