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SiC超结VDMOS研究与优化设计
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SiC超结VDMOS研究与优化设计
论文目录
中文摘要
第1-10页
ABSTRACT
第10-12页
第一章 绪论
第12-19页
1.1 研究背景和意义
第12-15页
1.2 国内外研究现状
第15-17页
1.2.1 SiC VDMOS研究现状
第15-16页
1.2.2 SiC超结研究现状
第16-17页
1.3 论文内容及安排
第17-19页
第二章 SiC VDMOS和超结的基本理论
第19-37页
2.1 SiC材料介绍
第19-21页
2.2 SiC VDMOS的基本结构和工作原理
第21-25页
2.2.1 SiC VDMOS的基本结构
第21-22页
2.2.2 SiC VDMOS的工作原理
第22-25页
2.3 SiC VDMOS的主要电参数
第25-31页
2.3.1 阂值电压
第25-26页
2.3.2 击穿电压
第26-29页
2.3.3 导通电阻
第29-31页
2.4 超结的基本理论
第31-36页
2.5 本章小结
第36-37页
第三章 SiC超结VDMOS器件结构设计
第37-56页
3.1 Atlas仿真模型介绍
第37-40页
3.1.1 能带变窄模型
第37-38页
3.1.2 迁移率模型
第38-39页
3.1.3 载流子产生-复合模型
第39-40页
3.1.4 碰撞电离模型
第40页
3.2 漂移区设计
第40-45页
3.2.1 漂移区厚度及浓度设计与优化
第41-44页
3.2.2 漂移区超结失配
第44-45页
3.3 P阱优化
第45-48页
3.4 JFET区优化
第48-50页
3.5 沟道长度优化
第50-51页
3.6 整体结构设计
第51-55页
3.7 本章小结
第55-56页
第四章 改进超结VDMOS的设计及电特性对比
第56-61页
4.1 改进超结VDMOS的设计
第56-59页
4.1.1 设计原理
第56-57页
4.1.2 设计仿真
第57-59页
4.2 不同结构VDMOS电特性对比
第59-60页
4.3 本章小结
第60-61页
第五章 总结与展望
第61-63页
5.1 总结
第61-62页
5.2 展望
第62-63页
参考文献
第63-67页
致谢
第67-68页
攻读硕士研究生期间研究成果
第68-69页
学位论文评阅及答辩情况表
第69页
本篇论文共
69
页,
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。
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