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利用低温原子层沉积实现柔性有机电致发光器件的薄膜封装技术研究
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利用低温原子层沉积实现柔性有机电致发光器件的薄膜封装技术研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 绪论第9-22页
　　1.1 OLED的理论基础及产业的发展状况第9-15页
　　　　1.1.1 OLED的基本概念及优点第9-11页
　　　　1.1.2 OLED的技术和产业发展历程第11-14页
　　　　1.1.3 国内OLED产业的发展现状第14-15页
　　1.2 OLED实用化的主要问题第15-16页
　　　　1.2.1 OLED技术发展面临的问题第15-16页
　　　　1.2.2 提高器件稳定性的解决方案第16页
　　1.3 OLED的封装发展历程第16-22页
　　　　1.3.1 传统封装方法第16-17页
　　　　1.3.2 薄膜封装方法第17-19页
　　　　1.3.3 原子层沉积技术与分子层沉积技术第19-22页
第二章 薄膜封装性能的定量表征方法第22-27页
　　2.1 测定水汽透过率的方法第22-24页
　　　　2.1.1 称量质量方法第22页
　　　　2.1.2 质谱测试法第22-23页
　　　　2.1.3 氦质谱检漏法和放射性元素测定方法第23-24页
　　　　2.1.4 钙电学测试法第24页
　　2.2 钙测试理论计算方法和样品制备第24-27页
第三章 柔性OLED封装薄膜的制备第27-41页
　　3.1 柔性OLED的制备方法第27-28页
　　　　3.1.1 柔性OLED技术特点第27页
　　　　3.1.2 OLED制备系统介绍第27-28页
　　3.2 柔性OLED封装薄膜的制备方法第28-31页
　　　　3.2.1 远程增强等离子层积系统介绍第28-29页
　　　　3.2.2 薄膜制备的工艺流程第29-31页
　　3.3 单层无机ZrO_2的制备薄膜的水汽阻隔性能分析第31-39页
　　　　3.3.1 ZrO_2薄膜的应用第31页
　　　　3.3.2 利用远程增强等离子层积系统制备的ZrO2的性能特点第31-38页
　　　　3.3.3 ZrO_2薄膜的封装效果第38-39页
　　3.4 本章小结第39-41页
第四章 利用有机无机纳米叠层结构进一步提高柔性OLED封装性能第41-48页
　　4.1 有机无机叠层结构的性质特点第41-42页
　　4.2 有机无机ZrO_2/zircone薄膜的制备方法第42页
　　4.3 有机无机ZrO_2/zircone薄膜性质特点及封装效果第42-47页
　　4.4 本章小结第47-48页
第五章 总结与展望第48-50页
参考文献第50-55页
作者简介及在学期间所取得的科研成果第55-56页
致谢第56-57页

本篇论文共57页，点击这进入下载页面。
 
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