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片上集成的光机械晶体管研究

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片上集成的光机械晶体管研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 绪论第9-20页
  1.1 光晶体管的研究背景第9-11页
  1.2 硅基集成器件的发展简介第11-13页
  1.3 光晶体管的国内外研究进展第13-19页
  1.4 本论文的主要研究内容第19-20页
2 光机械特性分析第20-32页
  2.1 光力的分类与原理第20-23页
  2.2 光梯度力的计算第23-25页
  2.3 增强光梯度力效应的方法第25-26页
  2.4 光梯度力常用结构第26-30页
  2.5 本章小结第30-32页
3 基于硅基集成器件的光机械晶体管研究第32-49页
  3.1 基于硅基MZI的光机械晶体管第32-36页
  3.2 基于硅基MRR的光机械晶体管第36-47页
  3.3 本章小结第47-49页
4 总结与展望第49-51页
  4.1 总结第49-50页
  4.2 展望第50-51页
致谢第51-52页
参考文献第52-56页
附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录第56-57页
附录2 论文中缩略词含义第57-58页

本篇论文共58页,点击这进入下载页面
 
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