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片上集成的光机械晶体管研究
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片上集成的光机械晶体管研究
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-9页
1 绪论
第9-20页
1.1 光晶体管的研究背景
第9-11页
1.2 硅基集成器件的发展简介
第11-13页
1.3 光晶体管的国内外研究进展
第13-19页
1.4 本论文的主要研究内容
第19-20页
2 光机械特性分析
第20-32页
2.1 光力的分类与原理
第20-23页
2.2 光梯度力的计算
第23-25页
2.3 增强光梯度力效应的方法
第25-26页
2.4 光梯度力常用结构
第26-30页
2.5 本章小结
第30-32页
3 基于硅基集成器件的光机械晶体管研究
第32-49页
3.1 基于硅基MZI的光机械晶体管
第32-36页
3.2 基于硅基MRR的光机械晶体管
第36-47页
3.3 本章小结
第47-49页
4 总结与展望
第49-51页
4.1 总结
第49-50页
4.2 展望
第50-51页
致谢
第51-52页
参考文献
第52-56页
附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录
第56-57页
附录2 论文中缩略词含义
第57-58页
本篇论文共
58
页,
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