压印气体隔离及掺杂调控金属互连电特性研究

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压印气体隔离及掺杂调控金属互连电特性研究

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压印气体隔离及掺杂调控金属互连电特性研究

论文目录
摘要	第1-5页
abstract	第5-8页
1 引言	第8-14页
1.1 选题的依据目的及意义	第8-9页
1.2 纳米压印技术国内外研究现状	第9-12页
1.2.1 纳米压印国外研究现状	第10-12页
1.2.2 国内纳米压印研究现状	第12页
1.3 本文选题的目的和意义	第12-13页
1.4 本文的主要内容和组织结构	第13-14页
2. 纳米压印技术	第14-26页
2.1 纳米压印技术	第14-15页
2.2 气压式纳米压印技术	第15-25页
2.2.1 充气式气压纳米压印	第15-18页
2.2.2 气囊式气压纳米压印	第18-21页
2.2.3 真空负压式纳米压印	第21-23页
2.2.4 气体压缩式纳米压印	第23-25页
2.3 本章小结	第25-26页
3 压缩式气体施压技术气体隔离方案的优化	第26-39页
3.1 系统的工作原理及结构优化	第26-29页
3.2 对O形环粗糙度的分析	第29-37页
3.3 O-形环表面粗糙度的实现-刻蚀V形	第37-38页
3.4 本章小结	第38-39页
4 基于假塑性金属纳米银颗粒作为转移介质的研究	第39-50页
4.1 银颗粒的制备	第39-41页
4.2 银颗粒分散性的研究	第41-43页
4.3 银颗粒纳米线的制备	第43-50页
5 掺杂调控银纳米颗粒线导电特性的研究	第50-58页
5.1 刻蚀槽工艺的选择	第51-52页
5.2 不同掺杂金属对银纳米颗粒线的导电性影响的研究	第52-54页
5.3 不同掺杂量对银纳米颗粒线导电性能影响的研究	第54-58页
6 结论及展望	第58-60页
6.1 本文的主要内容和结论	第58-59页
6.2 文章中存在的问题及未来展望	第59-60页
参考文献	第60-64页
致谢	第64页

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