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LED芯片分选排列误差分析及实时补偿策略

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LED芯片分选排列误差分析及实时补偿策略
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-14页
    1.1. 课题概述第8-10页
    1.2. 国内外研究现状第10-13页
    1.3. 本文研究的主要内容第13-14页
2 分选排列误差影响因素分析第14-20页
    2.1. 引言第14页
    2.2. 排列误差来源总结分析第14-15页
    2.3. 关键误差影响因素分析第15-19页
    2.4. 本章小结第19-20页
3 旋转中心摆动误差补偿方法研究第20-43页
    3.1. 引言第20-21页
    3.2. 旋转中心及摆动误差计算模型第21-33页
    3.3. 旋转中心摆动误差补偿的设计和实现第33-42页
    3.4. 本章小结第42-43页
4 基底蓝膜变形误差研究第43-57页
    4.1. 引言第43页
    4.2. 蓝膜刺破引起的变形的建模与测量第43-50页
    4.3. 蓝膜运动引起的变形的分析与测量第50-55页
    4.4. 蓝膜变形误差综合分析第55-56页
    4.5. 本章小结第56-57页
5 排列误差实时补偿方法设计及验证第57-66页
    5.1. 引言第57页
    5.2. 动态误差实时补偿方法第57-61页
    5.3. 综合实验验证第61-65页
    5.4. 本章小结第65-66页
6 总结与展望第66-68页
    6.1. 全文总结第66页
    6.2. 研究展望第66-68页
致谢第68-69页
参考文献第69-72页
附录第72页

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