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硅片检测运动平台真空吸附系统设计与分析

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硅片检测运动平台真空吸附系统设计与分析
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-17页
  1.1 课题的来源、背景和意义第8-9页
  1.2 国内外研究现状第9-16页
  1.3 本文的主要研究内容与章节安排第16-17页
2 真空吸附系统结构与拾取方案设计第17-27页
  2.1 引言第17页
  2.2 硅片的检测原理与需求分析第17-19页
  2.3 硅片检测运动平台的结构与工作流程第19-21页
  2.4 Z轴升降机构的设计第21-23页
  2.5 真空吸附回路的设计第23-26页
  2.6 本章小结第26-27页
3 真空吸附系统关键部件建模与分析第27-36页
  3.1 引言第27页
  3.2 硅片多点支撑变形研究第27-29页
  3.3 Z轴升降机构建模与分析第29-32页
  3.4 真空吸盘流固耦合建模第32-35页
  3.5 本章小结第35-36页
4 硅片吸附过程动力学建模与分析第36-52页
  4.1 引言第36页
  4.2 硅片吸附过程的理论分析第36-38页
  4.3 硅片吸附过程动网格建模第38-46页
  4.4 硅片吸附过程的动态特性分析第46-51页
  4.5 本章小结第51-52页
5 硅片吸附性能的实验研究第52-60页
  5.1 引言第52页
  5.2 实验装置与原理第52-54页
  5.3 硅片吸附过程的实验分析第54-59页
  5.4 本章小结第59-60页
6 总结与展望第60-61页
  6.1 全文总结第60页
  6.2 研究展望第60-61页
致谢第61-62页
参考文献第62-64页

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