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硅片检测运动平台真空吸附系统设计与分析
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硅片检测运动平台真空吸附系统设计与分析
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-8页
1 绪论
第8-17页
1.1 课题的来源、背景和意义
第8-9页
1.2 国内外研究现状
第9-16页
1.3 本文的主要研究内容与章节安排
第16-17页
2 真空吸附系统结构与拾取方案设计
第17-27页
2.1 引言
第17页
2.2 硅片的检测原理与需求分析
第17-19页
2.3 硅片检测运动平台的结构与工作流程
第19-21页
2.4 Z轴升降机构的设计
第21-23页
2.5 真空吸附回路的设计
第23-26页
2.6 本章小结
第26-27页
3 真空吸附系统关键部件建模与分析
第27-36页
3.1 引言
第27页
3.2 硅片多点支撑变形研究
第27-29页
3.3 Z轴升降机构建模与分析
第29-32页
3.4 真空吸盘流固耦合建模
第32-35页
3.5 本章小结
第35-36页
4 硅片吸附过程动力学建模与分析
第36-52页
4.1 引言
第36页
4.2 硅片吸附过程的理论分析
第36-38页
4.3 硅片吸附过程动网格建模
第38-46页
4.4 硅片吸附过程的动态特性分析
第46-51页
4.5 本章小结
第51-52页
5 硅片吸附性能的实验研究
第52-60页
5.1 引言
第52页
5.2 实验装置与原理
第52-54页
5.3 硅片吸附过程的实验分析
第54-59页
5.4 本章小结
第59-60页
6 总结与展望
第60-61页
6.1 全文总结
第60页
6.2 研究展望
第60-61页
致谢
第61-62页
参考文献
第62-64页
本篇论文共
64
页,
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。
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