教育论文网

大功率器件用氮化钨各向异性刻蚀工艺设计与实现
硕士博士毕业论文站内搜索    
分类：教育论文网→工业技术论文→无线电电子学、电信技术论文→半导体技术论文→一般性问题论文→半导体器件制造工艺及设备论文→光刻、掩膜论文
大功率器件用氮化钨各向异性刻蚀工艺设计与实现
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第一章 绪论第11-20页
　　1.1 研究背景及意义第11-12页
　　1.2 国内外研究现状第12-18页
　　　　1.2.1 半导体材料的发展第12-13页
　　　　1.2.2 刻蚀技术的研究与发展第13-16页
　　　　1.2.3 氮化物半导体材料的研究第16-18页
　　1.3 论文组织第18-19页
　　1.4 设计指标第19-20页
第二章 氮化钨各向异性刻蚀的机理第20-31页
　　2.1 湿法刻蚀第20-23页
　　　　2.1.1 湿法刻蚀的基本原理第20-21页
　　　　2.1.2 湿法刻蚀的分类及优缺点第21-22页
　　　　2.1.3 氮化物湿法刻蚀第22-23页
　　2.2 干法刻蚀第23-31页
　　　　2.2.1 干法刻蚀的原理第23-26页
　　　　2.2.2 干法刻蚀的分类第26-28页
　　　　2.2.3 氮化物干法刻蚀的主要方法第28-31页
第三章 氮化钨各向异性刻蚀工艺方法及实验设备选择第31-38页
　　3.1 氮化钨的刻蚀要求及其刻蚀方法第31-34页
　　　　3.1.1 氮化钨刻蚀工艺的要求第31页
　　　　3.1.2 氮化钨刻蚀方法第31-34页
　　3.2 氮化钨刻蚀工艺实验设备及材料第34-38页
　　　　3.2.1 实验设备第34-37页
　　　　3.2.2 实验材料第37-38页
第四章 氮化钨各向异性刻蚀工艺设计第38-46页
　　4.1 主刻蚀工艺参数确定第38-43页
　　　　4.1.1 功率和压力第38-39页
　　　　4.1.2 气体流量第39-40页
　　　　4.1.3 综合参数确定第40-42页
　　　　4.1.4 主刻蚀工艺si损失量的确认第42-43页
　　4.2 过刻蚀工艺的设计第43页
　　4.3 刻蚀残留物的去除工艺第43-46页
第五章 氮化钨各向异性刻蚀工艺验证及测试第46-60页
　　5.1 主刻蚀工艺的验证第46-47页
　　5.2 过刻蚀工艺的验证第47-48页
　　5.3 刻蚀残留物去除工艺的验证第48-49页
　　5.4 器件电学参数测试第49-56页
　　　　5.4.1 测试目的第49-50页
　　　　5.4.2 测试结果第50-56页
　　5.5 设计指标验证第56-60页
第六章 结论与展望第60-62页
　　6.1 总结第60-61页
　　6.2 展望第61-62页
参考文献第62-64页
致谢第64页

本篇论文共64页，点击这进入下载页面。
 
更多论文
大功率器件用氮化钨各向异性刻蚀工
藏南仲巴辉绿岩脉的岩石成因及构造
半导体铜布线阻挡层技术的研究
基于PrAlNiCu金属玻璃薄膜的相变光
基于GIS的重点人员住宿预警系统的设
利用复模式分析方法对LED光提取效率
放管服背景下测绘地理信息行业管理
近红外胶体PbSe量子点荧光粉及发光
渤海中部海域浮游植物种群结构、光
液态全无机钙钛矿量子点LED的研究
带有分布式布拉格反射镜的紫外LED制
西藏亚东地区植物区系地理学研究
GaN基隧穿器件的制备及特性的研究
锦鸡儿属植物地理地带分布种干旱适
表面等离激元提高GaN基材料与器件发
苜蓿中华根瘤菌LsrB蛋白结构域的功
SiC衬底上GaN基绿光LED的制备研究
不同海拔小花草玉梅种子中内源激素
反激式无电解电容LED驱动器的研究
含自对准结构的镀铜陶瓷基板制备技
抗氰交替途径对强光下拟南芥叶片光
量子点LED精确光学模型的建立及封装
辣椒CaRH36基因的分离与功能初步分
大功率LED封装梯度折射率结构研究
拟南芥芥子酶TGG4、TGG5基因的功能
金属氧化物薄膜的低温溶液法制备及
高k金属氧化物薄膜及晶体管的制备与
拟南芥15-cis-ζ-胡萝卜素异构酶基
基于水性超薄ZrO2高κ介
拟南芥SCL31蛋白的表达纯化及其功能
基于电流体直写掩膜的晶体管制备与
猴B病毒gD蛋白表达、纯化及单克隆抗
MgInSnO薄膜晶体管的研制
IGBT驱动技术的研究
保鲜功能短短芽胞杆菌筛选及其培养
基于氧化锌薄膜晶体管的透明指纹识
苏云金芽胞杆菌BRC-ZYR2细菌素的活
IGBT器件的低开关损耗驱动技术研究
AFB1结合蛋白的筛选及验证分析
基于机器学习算法的IGBT模块故障预
压接式IGBT开关特性测试平台的设计
Clonostachys rosea的玉米赤霉烯酮
铱配合物有机发光二极管的设计及优
机械波式的DNA纳米机器用于多种信号
有机P型半导体材料的制备及表征
突变型FoxO1转基因小鼠的基因表达及
基于Hammerstein模型压电陶瓷执行器
高效率高色稳定性的白光有机电致发
SHOX上下游CNEs对SHOX调控机制的研
 
氮化钨论文 各向异性论文 刻蚀工艺论文 干法刻蚀论文
版权申明：目录由用户pujer**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved