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基于PrAlNiCu金属玻璃薄膜的相变光刻机理研究

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基于PrAlNiCu金属玻璃薄膜的相变光刻机理研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-15页
  1.1 引言第8-9页
  1.2 光刻技术及其发展第9-10页
  1.3 相变光刻技术第10-12页
  1.4 金属玻璃第12-14页
  1.5 本论文的主要研究内容及结构第14-15页
2 Pr AlNiCu金属玻璃薄膜的制备及表征第15-25页
  2.1 引言第15页
  2.2 PrAlNiCu金属玻璃薄膜的制备及表征第15-23页
  2.3 本章小结第23-25页
3 PrAlNiCu金属玻璃薄膜的激光曝光热分布模拟第25-36页
  3.1 引言第25页
  3.2 ANSYS建模仿真第25-28页
  3.3 PrAlNiCu薄膜激光曝光温度分布模拟结果第28-34页
  3.4 本章小结第34-36页
4 相变光刻系统及PrAlNiCu薄膜的激光曝光特性第36-46页
  4.1 引言第36页
  4.2 相变光刻曝光系统第36-39页
  4.3 PrAlNiCu金属玻璃薄膜连续、脉冲激光曝光特性第39-44页
  4.4 本章小结第44-46页
5 PrAlNiCu薄膜的湿法刻蚀特性及机理分析第46-58页
  5.1 引言第46页
  5.2 PrAlNiCu薄膜的湿法刻蚀研究第46-53页
  5.3 PrAlNiCu薄膜曝光后的刻蚀特性研究第53-57页
  5.4 本章小结第57-58页
6 全文总结第58-60页
  6.1 研究内容总结第58-59页
  6.2 研究展望第59-60页
致谢第60-61页
参考文献第61-67页
附录1 攻读硕士学位期间发表论文与专利目录第67页

本篇论文共67页,点击这进入下载页面
 
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