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基于PrAlNiCu金属玻璃薄膜的相变光刻机理研究
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基于PrAlNiCu金属玻璃薄膜的相变光刻机理研究
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-8页
1 绪论
第8-15页
1.1 引言
第8-9页
1.2 光刻技术及其发展
第9-10页
1.3 相变光刻技术
第10-12页
1.4 金属玻璃
第12-14页
1.5 本论文的主要研究内容及结构
第14-15页
2 Pr AlNiCu金属玻璃薄膜的制备及表征
第15-25页
2.1 引言
第15页
2.2 PrAlNiCu金属玻璃薄膜的制备及表征
第15-23页
2.3 本章小结
第23-25页
3 PrAlNiCu金属玻璃薄膜的激光曝光热分布模拟
第25-36页
3.1 引言
第25页
3.2 ANSYS建模仿真
第25-28页
3.3 PrAlNiCu薄膜激光曝光温度分布模拟结果
第28-34页
3.4 本章小结
第34-36页
4 相变光刻系统及PrAlNiCu薄膜的激光曝光特性
第36-46页
4.1 引言
第36页
4.2 相变光刻曝光系统
第36-39页
4.3 PrAlNiCu金属玻璃薄膜连续、脉冲激光曝光特性
第39-44页
4.4 本章小结
第44-46页
5 PrAlNiCu薄膜的湿法刻蚀特性及机理分析
第46-58页
5.1 引言
第46页
5.2 PrAlNiCu薄膜的湿法刻蚀研究
第46-53页
5.3 PrAlNiCu薄膜曝光后的刻蚀特性研究
第53-57页
5.4 本章小结
第57-58页
6 全文总结
第58-60页
6.1 研究内容总结
第58-59页
6.2 研究展望
第59-60页
致谢
第60-61页
参考文献
第61-67页
附录1 攻读硕士学位期间发表论文与专利目录
第67页
本篇论文共
67
页,
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。
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