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Ga2O3/石墨烯复合结构日盲紫外探测器研究

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Ga2O3/石墨烯复合结构日盲紫外探测器研究
论文目录
 
摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 绪论第9-19页
  1.1 引言第9页
  1.2 光电探测器第9-12页
    1.2.1 光电探测器的分类及原理第9-10页
    1.2.2 光电探测器的应用第10-11页
    1.2.3 半导体材料在紫外光电探测的应用第11-12页
  1.3 Ga_2O_3材料在光电探测器中的应用第12-14页
  1.4 石墨烯(Graphene)材料在光电探测器中的应用第14-15页
  1.5 本论文的主要研究内容第15-17页
参考文献第17-19页
第二章 样品的实验方法、表征手段及装置介绍第19-29页
  2.1 引言第19页
  2.2 石墨烯材料的制备技术第19-20页
  2.3 Ga_2O_3材料的制备技术第20-22页
  2.4 薄膜的表征技术手段第22-24页
    2.4.1 拉曼光谱(Raman)第22页
    2.4.2 光学显微镜(OM)第22页
    2.4.3 扫描电子显微镜(SEM)第22-23页
    2.4.4 X射线衍射(XRD)第23-24页
    2.4.5 紫外可见吸收谱(UV-Vis Spectra)第24页
  2.5 石墨烯/Ga_2O_3基的日盲紫外光电探测器第24-27页
    2.5.1 器件的结构与原理第25页
    2.5.2 光电探测器的主要性能测试参数第25-27页
    2.5.3 器件测试装置与方法第27页
  2.6 本章小结第27-28页
参考文献第28-29页
第三章 β-Ga_2O_3薄膜与石墨烯薄膜的制备与表征第29-39页
  3.1 引言第29页
  3.2 石墨烯的转移与表征第29-30页
  3.3 石墨烯的表征第30-33页
    3.3.1 光学显微镜(OM)第30-31页
    3.3.2 扫描电子显微镜(SEM)第31-32页
    3.3.3 拉曼光谱(Raman)第32-33页
    3.3.4 电学性质第33页
  3.4 激光分子束外延(L-MBE)法制备β-Ga_2O_3薄膜实验参数的探究第33-34页
  3.5 探究在转移至衬底上的石墨烯上制备β-Ga_2O_3薄膜的最佳实验参数第34-37页
  3.6 本章小结第37-38页
参考文献第38-39页
第四章 β-Ga_2O_3/石墨烯复合结构日盲紫外探测器的制备及性能研究第39-51页
  4.1 引言第39页
  4.2 蓝宝石衬底上β-Ga_2O_3/石墨烯异质结薄膜的制备及其结构表征第39-42页
  4.3 β-Ga_2O_3/石墨烯复合结构日盲紫外探测器性能测试第42-46页
  4.4 β-Ga_2O_3/石墨烯复合结构日盲紫外探测器机制分析第46-48页
  4.5 本章小结第48-49页
参考文献第49-51页
第五章 总结第51-52页
致谢第52-53页
攻读学位期间发表的学术论文目录第53页

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