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基于365nm LED光源的无掩模数字光刻特性研究
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基于365nm LED光源的无掩模数字光刻特性研究
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-11页
第一章 绪论
第11-19页
1.1 本课题的研究背景
第11-12页
1.2 光刻技术介绍
第12-16页
1.2.1 有掩模光刻
第13-14页
1.2.2 无掩模光刻
第14-16页
1.3 光刻光源介绍
第16-17页
1.4 本文研究内容
第17-19页
第二章 DMD的特性研究
第19-26页
2.1 DMD简介
第19-21页
2.1.1 DMD的发展历程
第19页
2.1.2 DMD的构造和原理
第19-21页
2.2 DMD的灰度特性
第21-23页
2.3 DMD的结构特性
第23页
2.4 DMD的光学特性
第23-25页
2.4.1 DMD的衍射特性
第23-24页
2.4.2 DMD的反射特性
第24-25页
2.5 本章小结
第25-26页
第三章 照明系统的研究
第26-37页
3.1 常用光刻光源系统
第26-29页
3.1.1 高压汞灯
第26-27页
3.1.2 紫外激光器
第27-28页
3.1.3 UV-LED
第28-29页
3.2 UV-LED物理特性的研究
第29-32页
3.2.1 UV-LED的电学特性
第29-31页
3.2.2 UV-LED的光学特性
第31页
3.2.3 UV-LED的热学特性
第31-32页
3.3 常用准直光路
第32-33页
3.4 常用匀光单元
第33-35页
3.5 光刻系统中照明系统关键技术参数
第35-36页
3.5.1 照明系统的像差
第35页
3.5.2 照明系统出射光的均匀度
第35-36页
3.5.3 照明系统与投影系统的匹配
第36页
3.6 本章小结
第36-37页
第四章 照明系统的设计与仿真
第37-42页
4.1 LED光源的特性
第37页
4.2 基于复眼透镜的照明系统匀光设计
第37-38页
4.3 模拟仿真与分析
第38-41页
4.4 本章小结
第41-42页
第五章 投影镜头的匹配与光刻实验
第42-48页
5.1 设计要求
第42-43页
5.1.1 数字光刻设计特点
第42页
5.1.2 光学材料选取
第42页
5.1.3 系统结构
第42-43页
5.1.4 像差校正
第43页
5.2 投影镜头的设计与结果
第43-46页
5.3 光刻实验
第46-47页
5.4 本章小结
第47-48页
总结与展望
第48-50页
参考文献
第50-54页
攻读学位期间发表的论文及申请的专利
第54-57页
致谢
第57页
本篇论文共
57
页,
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。
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