半导体生产线动态维护策略研究

	载入中...

半导体生产线动态维护策略研究

分类1：教育论文网→工业技术论文→无线电电子学、电信技术论文→半导体技术论文→一般性问题论文→半导体器件制造工艺及设备论文
分类2：教育论文网→工业技术论文→自动化技术、计算机技术论文→自动化基础理论论文→人工智能理论论文

半导体生产线动态维护策略研究

论文目录
摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-13页
第一章绪论	第13-23页
1.1 选题背景及研究意义	第13-15页
1.1.1 选题背景	第13-14页
1.1.2 研究意义	第14-15页
1.2 国内外研究现状	第15-19页
1.2.1 工业界研究现状	第15-16页
1.2.2 学术界研究现状	第16-19页
1.3 研究内容	第19-20页
1.4 论文总体框架	第20-23页
第二章系统调度和维护理论	第23-33页
2.1 可靠性分析	第23-28页
2.1.1 威布尔分布可靠性	第24-26页
2.1.2 正态分布可靠性	第26-27页
2.1.3 指数分布可靠性	第27-28页
2.2 维护方案分类	第28-29页
2.2.1 故障性维修	第28页
2.2.2 预防性维修	第28-29页
2.2.3 机会维修	第29页
2.3 生产调度理论	第29-32页
2.3.1 生产调度的基本概念	第29-30页
2.3.2 生产调度种类	第30-32页
2.4 本章小结	第32-33页
第三章半导体制造设备动态维护策略建模	第33-45页
3.1 MDP模型在维护中的应用现状	第33-35页
3.2 MDP模型介绍	第35-36页
3.2.1 离散空间的MDP模型	第36页
3.2.2 连续时间的MDP模型	第36页
3.3 建立动态维护策略数学模型	第36-44页
3.3.1 行为空间和状态空间	第39-40页
3.3.2 动态转移概率	第40-41页
3.3.3 动态维护策略数学模型	第41-43页
3.3.4 算例假设	第43-44页
3.4 本章小结	第44-45页
第四章动态维护策略的求解与分析	第45-54页
4.1 粒子群算法	第45-48页
4.1.1 标准粒子群算法	第46-47页
4.1.2 离散粒子群算法	第47页
4.1.3 粒子群算法的应用	第47-48页
4.2 带交叉因子的粒子群算法	第48-49页
4.3 维护策略求解与分析	第49-53页
4.3.1 求解过程	第49-50页
4.3.2 数据分析	第50-53页
4.4 本章小结	第53-54页
第五章半导体生产线的调度与维护研究	第54-77页
5.1 Mini-Fab模型的建立	第54-59页
5.1.1 Mini-Fab模型结构及参数	第54-57页
5.1.2 Mini-Fab模型基本调度原则	第57页
5.1.3 Mini-Fab模型搭建	第57-59页
5.2 Mini-Fab模型调度规则研究	第59-66页
5.2.1 扩散中心调度规则	第61-62页
5.2.2 光刻单元调度规则	第62页
5.2.3 粒子注入单元调度规则	第62-63页
5.2.4 系统组合调度规则	第63-66页
5.3 维护与生产加工联合决策	第66-69页
5.3.1 问题的提出	第66-67页
5.3.2 维护与加工联合抉择模型的建立	第67-69页
5.4 仿真研究与数据分析	第69-76页
5.4.1 模型仿真	第69-71页
5.4.2 数据研究与可行性分析	第71-76页
5.5 本章小结	第76-77页
总结与展望	第77-79页
1、总结	第77页
2、展望	第77-79页
参考文献	第79-85页
攻读学位期间发表的论文	第85-87页
致谢	第87页

本篇论文共87页，点击这进入下载页面。

更多论文
半导体生产线动态维护策略研究
关于Heisenberg-Virasoro代数的结构
精密机械平台摩擦特性的建模和补偿
一类16p~2阶群的4度Cayley图的正规
全纯矩阵函数的解析性质
Navier-Stokes最优控制问题的零空间
基于真空紫外光表面活化的硅基晶圆
一类有向图邻接矩阵Drazin逆表达式
一种用于逆变模块的快恢复二极管设
矩阵加和Drazin逆符号问题的研究
硅衬底GaN基近紫外、黄光LED材料生
两类样本协方差矩阵的谱的极限理论
神经网络算法求解绝对值方程的解及
石墨烯量子点的制备及其在白光LED中
高热流密度LED离子风散热系统性能研
震后初期救灾物资两阶段调度优化研
基于ARM的地震预警系统终端设计
GaN基垂直功率器件击穿机理与新结构
汶川地震余震地震动衰减关系及其不
基于COB封装的大功率LED芯片散热研
基于奇异谱分析的脉冲型地震动量化
用于植物水培的智能控制LED照明装置
GPS、InSAR数据联合解算地表三维形
对GaN基LED的光学电学特性及DSCs中
利用重力资料研究汶川地震震源区及
4H-SiC肖特基二极管电流输运机制研
龙门山区域地表三维形变正演研究—
FS结构的3300V IGBT终端设计
基于ALOS卫星数据的汶川地震地表形
基于溶液法的金属氧化物薄膜晶体管
地震区划中的地震活动趋势预测一例
10KV 4H-SiC IGBT的分析与设计
基于600V的IGBT驱动电路设计
基于机器学习算法的脉冲型地震动识
集成温度采样功能的IGBT设计
基于多源数据的临汾市活动断层分析
一种开关过程优化的高压IGBT驱动电
基于新一代信息技术的地震应急指挥
高温环境下IGBT建模与结温预测方法
极区中层冬季回波统计分析研究
GPNP晶体管电离/位移协同效应研究
水位后移法在樟树水文站的应用研究
双极晶体管电离缺陷演化规律及物理
老虎沟冰川三维非线性Stokes模型的
不同温度条件下GLPNP晶体管的电离辐
基于混合模型SEPG-S对月降水量的研
栅控PNP晶体管ELDRS效应的开关剂量
超低功耗FS-IGBT研究
基于SAGA的优化算法在径流量预测中
高压栅驱动电路中抑制噪声技术的研
基于三次分解集成组合模型的黄河源
4H-SiC BJT功率器件特性与工艺研究
鄱阳湖的水温分层现象与水利枢纽工
非晶氧化铟镓锌薄膜晶体管的制备与
于桥水库流域分布式水文模型研究
基于HfO_x介电层有机薄膜晶体管的制
基于协变量的非一致性洪水频率分析
1700V RC-IGBT的设计与仿真分析
基于DEM的数字流域特征提取及水文网
基于复合绝缘层的a-IGZO薄膜晶体管
水文模型空间参数提取的智能化方法
一种低温度系数触发电流的可控硅设
600V高雪崩耐量平面栅VDMOS器件优化
基于混合模型方法的水文数据的研究
采用双栅MOS结构的抗总剂量关键技术
黑河上游天涝池流域径流过程研究
新型700V低比导通电阻LDMOS的研究与
中国典型气候带植被变化与气候变异
600V超结VDMOS器件的设计
悬移质泥沙声学测量技术研究

MDP模型论文动态维护策略论文带交叉因子的粒子群算法论文
版权申明：目录由用户tx0**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
\| 设为首页\|\|加入收藏\|\|站内搜索引擎\|\|站点地图\|\|在线购卡\|
版权所有教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved