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热光可调谐滤波器及其关键技术研究

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热光可调谐滤波器及其关键技术研究
论文目录
 
摘要第1-6页
abstract第6-10页
第一章 绪论第10-18页
  1.1 研究背景第10-11页
  1.2 可调谐F-P滤波器简介第11-14页
  1.3 热光可调谐F-P滤波器研究进展第14-16页
  1.4 本文选题依据及内容安排第16-18页
第二章 光学薄膜设计理论及制备技术第18-25页
  2.1 单层光学薄膜特性分析第18-19页
  2.2 多层光学薄膜特性及设计第19-21页
  2.3 光学薄膜的制备技术第21-24页
    2.3.1 PECVD技术原理第21-22页
    2.3.2 PECVD制备非晶硅薄膜机理第22-24页
    2.3.3 PECVD制备氮化硅薄膜机理第24页
  2.4 本章小结第24-25页
第三章 薄膜滤波器结构设计及优化第25-34页
  3.1 F-P薄膜滤波器的结构设计第25-28页
    3.1.1 F-P薄膜滤波器的原理及参数表征第25-26页
    3.1.2 薄膜滤波器的设计第26-28页
  3.2 热光可调谐薄膜滤波器滤波特性优化设计第28-31页
    3.2.1 滤波器薄膜材料的选择第28-29页
    3.2.2 反射镜周期数对滤波器影响第29-30页
    3.2.3 腔层厚度对滤波器影响第30页
    3.2.4 多腔结构对滤波器透射特性的影响第30-31页
  3.3 热光调谐滤波器的调谐性能研究第31-33页
  3.4 本章小结第33-34页
第四章 调谐滤波单元器件的工艺制备与性能测试第34-57页
  4.1 引言第34页
  4.2 单元滤波器件的制备工艺方案第34-44页
    4.2.1 滤波器膜层工艺的确定第34-42页
    4.2.2 薄膜滤波器的工艺误差研究第42-44页
  4.3 滤波器的实验制备及性能分析第44-49页
    4.3.1 实验制备第44-45页
    4.3.2 性能测试与分析第45-49页
  4.4 滤波器调谐性能测试及分析第49-55页
    4.4.1 热调谐分析第49-53页
    4.4.2 器件性能均匀性测试及分析第53-55页
  4.5 本章小结第55-57页
第五章 滤波器阵列制备及表征第57-65页
  5.1 引言第57页
  5.2 滤波器阵列化的制备第57-59页
  5.3 滤波器阵列表征第59-64页
    5.3.1 阵列结构表征第59-61页
    5.3.2 性能表征第61-64页
  5.4 本章小结第64-65页
第六章 总结与展望第65-67页
  6.1 总结第65-66页
  6.2 展望第66-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-71页
攻读硕士学位期间研究成果第71-72页

本篇论文共72页,点击这进入下载页面
 
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