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热光可调谐滤波器及其关键技术研究
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热光可调谐滤波器及其关键技术研究
论文目录
摘要
第1-6页
abstract
第6-10页
第一章 绪论
第10-18页
1.1 研究背景
第10-11页
1.2 可调谐F-P滤波器简介
第11-14页
1.3 热光可调谐F-P滤波器研究进展
第14-16页
1.4 本文选题依据及内容安排
第16-18页
第二章 光学薄膜设计理论及制备技术
第18-25页
2.1 单层光学薄膜特性分析
第18-19页
2.2 多层光学薄膜特性及设计
第19-21页
2.3 光学薄膜的制备技术
第21-24页
2.3.1 PECVD技术原理
第21-22页
2.3.2 PECVD制备非晶硅薄膜机理
第22-24页
2.3.3 PECVD制备氮化硅薄膜机理
第24页
2.4 本章小结
第24-25页
第三章 薄膜滤波器结构设计及优化
第25-34页
3.1 F-P薄膜滤波器的结构设计
第25-28页
3.1.1 F-P薄膜滤波器的原理及参数表征
第25-26页
3.1.2 薄膜滤波器的设计
第26-28页
3.2 热光可调谐薄膜滤波器滤波特性优化设计
第28-31页
3.2.1 滤波器薄膜材料的选择
第28-29页
3.2.2 反射镜周期数对滤波器影响
第29-30页
3.2.3 腔层厚度对滤波器影响
第30页
3.2.4 多腔结构对滤波器透射特性的影响
第30-31页
3.3 热光调谐滤波器的调谐性能研究
第31-33页
3.4 本章小结
第33-34页
第四章 调谐滤波单元器件的工艺制备与性能测试
第34-57页
4.1 引言
第34页
4.2 单元滤波器件的制备工艺方案
第34-44页
4.2.1 滤波器膜层工艺的确定
第34-42页
4.2.2 薄膜滤波器的工艺误差研究
第42-44页
4.3 滤波器的实验制备及性能分析
第44-49页
4.3.1 实验制备
第44-45页
4.3.2 性能测试与分析
第45-49页
4.4 滤波器调谐性能测试及分析
第49-55页
4.4.1 热调谐分析
第49-53页
4.4.2 器件性能均匀性测试及分析
第53-55页
4.5 本章小结
第55-57页
第五章 滤波器阵列制备及表征
第57-65页
5.1 引言
第57页
5.2 滤波器阵列化的制备
第57-59页
5.3 滤波器阵列表征
第59-64页
5.3.1 阵列结构表征
第59-61页
5.3.2 性能表征
第61-64页
5.4 本章小结
第64-65页
第六章 总结与展望
第65-67页
6.1 总结
第65-66页
6.2 展望
第66-67页
致谢
第67-68页
参考文献
第68-71页
攻读硕士学位期间研究成果
第71-72页
本篇论文共
72
页,
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。
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