随机微粗糙表面椭偏响应的理论建模

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随机微粗糙表面椭偏响应的理论建模

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随机微粗糙表面椭偏响应的理论建模

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章绪论	第9-16页
1.1 课题研究的背景和意义	第9-11页
1.2 国内外研究现状及分析	第11-14页
1.2.1 国外研究现状	第12-13页
1.2.2 国内研究现状	第13-14页
1.2.3 国内外文献综述简析	第14页
1.3 本文主要研究内容	第14-16页
第2章椭偏特性的理论计算基础	第16-27页
2.1 椭偏测量原理	第16-17页
2.2 穆勒矩阵	第17-18页
2.3 求解随机粗糙表面电磁响应的数值方法	第18-26页
2.3.1 三维问题的FDTD差分近似及近远场外推	第19-23页
2.3.2 RCWA基本计算原理	第23-26页
2.4 本章小结	第26-27页
第3章高斯随机微粗糙表面分层等效介质模型的建立	第27-45页
3.1 分层等效介质模型	第27-29页
3.2 分层等效介质模型的使用限制	第29-33页
3.3 分层等效介质模型厚度选取规律	第33-39页
3.4 材料光学常数对分层等效介质模型计算精度的影响	第39-41页
3.5 入射角对分层等效介质模型计算精度的影响	第41-42页
3.6 分层等效介质模型计算结果与实验数据对比	第42-43页
3.7 本章小结	第43-45页
第4章高斯随机微粗糙表面的穆勒矩阵分析	第45-58页
4.1 粗糙表面形貌特征对穆勒矩阵的影响	第45-49页
4.1.1 相对粗糙度的影响	第45-47页
4.1.2 自相关长度的影响	第47-49页
4.2 光学常数对穆勒矩阵的影响	第49-55页
4.2.1 折射率的影响	第50-52页
4.2.2 消光系数的影响	第52-55页
4.3 入射角对穆勒矩阵的影响	第55-57页
4.4 本章小结	第57-58页
结论	第58-59页
参考文献	第59-65页
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果	第65-67页
致谢	第67页

本篇论文共67页，点击这进入下载页面。

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