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基于激光干涉技术的透镜厚度精密检测方法研究
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基于激光干涉技术的透镜厚度精密检测方法研究
论文目录
摘要
第1-6页
ABSTRACT
第6-10页
1 绪论
第10-15页
1.1 研究背景
第10-11页
1.2 国内外研究现状
第11-14页
1.2.1 国外研究现状
第11-12页
1.2.2 国内研究现状
第12-14页
1.3 本文研究内容
第14-15页
2 透镜中心厚度检测原理及主要器件的选择
第15-24页
2.1 透镜中心厚度检测系统原理和组成
第15-19页
2.1.1 透镜中心厚度检测系统原理
第15-17页
2.1.2 透镜中心厚度检测系统组成
第17-19页
2.2 仪器硬件的选择
第19-23页
2.2.1 迈克尔逊型干涉仪元器件的选择
第19-21页
2.2.2 导轨及运动控制器的选择
第21-22页
2.2.3 采集卡的选择
第22-23页
2.3 本章小结
第23-24页
3 干涉信号的提取
第24-29页
3.1 提高干涉信号的强度
第24-26页
3.2 噪声的抑制
第26-27页
3.3 采样频率的选择
第27-28页
3.4 本章总结
第28-29页
4 干涉信号波峰定位方法
第29-36页
4.1 干涉信号的预处理
第29-32页
4.2 干涉信号波峰的初定位
第32-33页
4.3 干涉信号波峰的准确定位
第33-35页
4.4 本章小结
第35-36页
5 透镜中心厚度自动检测仪及实验结果分析
第36-45页
5.1 透镜中心厚度检测硬件组成
第36-38页
5.2 透镜中心厚度自动检测软件实现
第38-40页
5.3 透镜中心厚度检测结果
第40-41页
5.4 误差分析
第41-44页
5.4.1 干涉仪的自身精度估算
第41-42页
5.4.2 导轨精度估算
第42-43页
5.4.3 测厚仪精度估算及测量范围
第43-44页
5.5 本章小结
第44-45页
6 总结与展望
第45-48页
6.1 本文工作总结
第45-47页
6.2 未来工作展望
第47-48页
参考文献
第48-53页
发表论文和参加科研情况说明
第53-54页
致谢
第54页
本篇论文共
54
页,
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。
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