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基于激光干涉技术的透镜厚度精密检测方法研究

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基于激光干涉技术的透镜厚度精密检测方法研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
1 绪论第10-15页
  1.1 研究背景第10-11页
  1.2 国内外研究现状第11-14页
    1.2.1 国外研究现状第11-12页
    1.2.2 国内研究现状第12-14页
  1.3 本文研究内容第14-15页
2 透镜中心厚度检测原理及主要器件的选择第15-24页
  2.1 透镜中心厚度检测系统原理和组成第15-19页
    2.1.1 透镜中心厚度检测系统原理第15-17页
    2.1.2 透镜中心厚度检测系统组成第17-19页
  2.2 仪器硬件的选择第19-23页
    2.2.1 迈克尔逊型干涉仪元器件的选择第19-21页
    2.2.2 导轨及运动控制器的选择第21-22页
    2.2.3 采集卡的选择第22-23页
  2.3 本章小结第23-24页
3 干涉信号的提取第24-29页
  3.1 提高干涉信号的强度第24-26页
  3.2 噪声的抑制第26-27页
  3.3 采样频率的选择第27-28页
  3.4 本章总结第28-29页
4 干涉信号波峰定位方法第29-36页
  4.1 干涉信号的预处理第29-32页
  4.2 干涉信号波峰的初定位第32-33页
  4.3 干涉信号波峰的准确定位第33-35页
  4.4 本章小结第35-36页
5 透镜中心厚度自动检测仪及实验结果分析第36-45页
  5.1 透镜中心厚度检测硬件组成第36-38页
  5.2 透镜中心厚度自动检测软件实现第38-40页
  5.3 透镜中心厚度检测结果第40-41页
  5.4 误差分析第41-44页
    5.4.1 干涉仪的自身精度估算第41-42页
    5.4.2 导轨精度估算第42-43页
    5.4.3 测厚仪精度估算及测量范围第43-44页
  5.5 本章小结第44-45页
6 总结与展望第45-48页
  6.1 本文工作总结第45-47页
  6.2 未来工作展望第47-48页
参考文献第48-53页
发表论文和参加科研情况说明第53-54页
致谢第54页

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