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一类MEMS谐振器非线性动力学研究

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一类MEMS谐振器非线性动力学研究
论文目录
 
中文摘要第1-5页
Abstract第5-11页
字母注释表第11-13页
第一章 绪论第13-23页
  1.1 引言第13页
  1.2 微机械电子系统的基本概念和特征第13-15页
  1.3 微机械电子系统的发展史第15-17页
  1.4 微机械电子系统主要材料第17-19页
  1.5 微机械电子系统加工技术第19-22页
  1.6 本文主要工作第22-23页
第二章 MEMS谐振器第23-34页
  2.1 MEMS谐振器概述第23页
  2.2 MEMS谐振器分类第23-28页
  2.3 MEMS谐振器主要应用第28-31页
  2.4 MEMS谐振器的主要性能参数第31-32页
  2.5 MEMS谐振器研究现状第32-34页
第三章 MEMS谐振器阻尼机制分析第34-46页
  3.1 引言第34页
  3.2 内部能量耗散第34-36页
  3.3 外界能量耗散第36-46页
第四章 MEMS谐振器非线性动力学分析第46-58页
  4.1 MEMS谐振器物理及数学模型第46-48页
  4.2 多尺度摄动分析第48-50页
  4.3 理论分析第50-56页
  4.4 分析与讨论第56-57页
  4.5 总结第57-58页
第五章 MEMS谐振器数值仿真第58-69页
  5.1 引言第58页
  5.2 模态分析第58-64页
  5.3 MEMS谐振器的数值模拟第64-68页
  5.4 总结第68-69页
第六章 总结与展望第69-71页
  6.1 论文总结第69-70页
  6.2 论文展望第70-71页
参考文献第71-76页
发表论文和参加科研情况说明第76-77页
致谢第77-78页

本篇论文共78页,点击这进入下载页面
 
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