LGS声表面波传感器温度应变特性研究

	载入中...

LGS声表面波传感器温度应变特性研究

分类：教育论文网→工业技术论文→自动化技术、计算机技术论文→自动化技术及设备论文→自动化元件、部件论文→发送器（变换器）、传感器论文

LGS声表面波传感器温度应变特性研究

论文目录
摘要	第1-7页
abstract	第7-11页
第一章绪论	第11-21页
1.1 研究背景及意义	第11-12页
1.2 国内外研究现状和发展趋势	第12-19页
1.3 论文的选题依据	第19-20页
1.4 论文的研究内容及框架	第20-21页
第二章声表面波传感器理论	第21-35页
2.1 声表面波理论	第21-23页
2.2 声表面波器件的原理	第23-32页
2.2.1 声表面波器件种类及原理	第23-25页
2.2.2 压电衬底材料	第25-27页
2.2.3 叉指换能器	第27-31页
2.2.4 反射栅	第31-32页
2.3 SAW传感器应变传感原理	第32-33页
2.4 SAW传感器温度传感原理	第33-34页
2.5 本章小结	第34-35页
第三章 SAW传感器的设计与制作	第35-45页
3.1 声表面波传感器的设计	第35-36页
3.2 LGS声表面波传感器的有限元仿真	第36-39页
3.3 LGS声表面波传感器的制备	第39-44页
3.3.1 压电基片前期预处理	第39-40页
3.3.2 光刻谐振器图形	第40-41页
3.3.3 生长电极薄膜	第41-43页
3.3.4 剥离电极	第43页
3.3.5 快速退火处理	第43-44页
3.4 本章小结	第44-45页
第四章 LGS声表面波传感器温度特性研究	第45-52页
4.1 测试系统	第45-47页
4.1.1 矢量网络分析仪	第45-46页
4.1.2 温度测试平台	第46-47页
4.2 LGS声表面波传感器的温度特性研究	第47-50页
4.2.1 常温下LGS声表面波传感器的性能研究	第47-48页
4.2.2 不同温度下LGS传感器的温度性能测试	第48-50页
4.2.3 LGS声表面波传感器温度重复性测试	第50页
4.3 本章小结	第50-52页
第五章 LGS声表面波传感器应变特性研究	第52-70页
5.1 应变测试平台	第52-57页
5.1.1 应变测试原理	第52页
5.1.2 应变测试平台	第52-54页
5.1.3 传感器的粘接	第54-55页
5.1.4 数据采集	第55-57页
5.2 LGS传感器应变测试	第57-62页
5.2.1 常温下的LGS传感器应变特性测试	第57-59页
5.2.2 LGS传感器温度应变测试	第59-62页
5.3 不同角度的LGS应变响应测试	第62-66页
5.3.1 室温下不同角度的LGS应变响应测试	第62-65页
5.3.2 不同角度的LGS传感器温度应变响应	第65-66页
5.4 LGS传感器的应变误差分析	第66-69页
5.4.1 应变线性误差分析	第66-68页
5.4.2 应变滞后误差	第68-69页
5.5 本章小结	第69-70页
第六章结论与展望	第70-72页
6.1 结论	第70-71页
6.2 展望	第71-72页
致谢	第72-73页
参考文献	第73-77页
攻读硕士学位期间取得的成果	第77-78页

本篇论文共78页，点击这进入下载页面。

更多论文
LGS声表面波传感器温度应变特性研究
鄂尔多斯盆地旬邑探区延长组油气储
CMOS图像传感器预处理数字电路的设
环江地区延长组长9储层特征及测井识
FBG阵列与Φ-OTDR相结合的光纤振动
甘谷驿油田元龙寺区延长组长6油层储
八噻吩或石墨烯掺杂的有机薄膜晶体
甘谷驿油田元龙寺区块长6油层组油藏
基于分布式光纤传感的自来水管道泄
志丹油田寺崾岘区块长6油藏评价
绝对式光栅尺故障诊断仪的上位机系
基于Qi无线充电协议的气压传感器电
梨树断陷营城组物源体系、沉积体系
面向周界监测的光纤振动传感系统研
歧口凹陷沙河街组储层特征
基于WSN的分布式温室数据采集系统的
高精度磁测在青海某区金铜多金属矿
电磁场的集成光波导探测技术
西天山阿吾拉勒科克赛铜矿地质特征
电子衡器用称重传感器技术的研究
卡特巴阿苏金铜矿床矿物学及矽卡岩
能量收集无线传感器网络MAC协议研究
南秦岭石泉北部金矿地质特征及控矿
线性化巨磁阻传感器及其应用研究
多传感器分布式检测在ITS中的应用
内蒙古西山湾羊场银铅锌矿床地球化
氧化钴半导体气敏传感器的制备及其
内蒙古西山湾羊场银多金属矿床综合
基于OFDR的斜滑坡体应力分布传感系
内蒙古西山湾羊场银多金属矿床流体
基于微波解调技术的光纤折射率阵列
材料均匀性微波测试传感器的设计
内蒙古西山湾羊场银多金属矿地球化
纳米氧化锌—聚合物复合薄膜气体传
内蒙古哈达门沟金矿地质特征及矿床
基于石墨烯的生物传感器的技术研究
东昆仑拉陵灶火中游地区铜钼多金属
基于赭曲霉毒素A噬菌体多肽模拟表位
新疆东天山镁铁—超镁铁岩体含矿性
基于通信和能量的无线传感器网络节
新疆和静县备战铁矿床地质特征与成
多传感器行人航位推算方法和UKF融合
新疆西天山卡特巴阿苏金铜矿床地质
用于海水与淡水环境的Ir/Ir(OH)_x-
新疆西天山卡特巴阿苏大型金铜矿床
基于移动终端传感器的室内地理围栏
新疆东准噶尔南明水东金矿区金矿地
基于层次结构的WSN路由算法的研究与
新疆富蕴县蒙库铁矿成因和向斜构造
基于6LoWPAN的无线传感器网络能耗均
基于表面等离激元干涉的金属微纳结
新疆青河地区铜金多金属成矿预测
山东夏甸金矿床地球化学特征及矿床
霍尔电流传感器设计关键技术研究
基于微机电惯性测量的行人导航技术
宁陕县太山庙金矿矿床地质特征与矿
基于Havar合金膜片的电容式压力传感
甘肃北山花牛山金矿地质特征和成矿
基于时间选举的无线传感器网络洪泛
浙西北结蒙地区岩石地球化学特征与

LGS论文 SAW传感器论文微电子工艺论文温度应变
版权申明：目录由用户2834**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
\| 设为首页\|\|加入收藏\|\|站内搜索引擎\|\|站点地图\|\|在线购卡\|
版权所有教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved