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光栅分光式移相干涉差分共焦位移传感技术研究
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光栅分光式移相干涉差分共焦位移传感技术研究
论文目录
摘要
第1-5页
ABSTRACT
第5-9页
第1章 绪论
第9-16页
1.1 课题的研究背景、目的和意义
第9-10页
1.2 国内外的研究现状及分析
第10-14页
1.2.1 同步移相干涉理论的发展
第10-11页
1.2.2 同步移相干涉技术的研究现状
第11-13页
1.2.3 移相干涉共焦技术的研究现状
第13-14页
1.3 本课题需要解决的问题
第14-15页
1.4 课题来源及主要研究内容
第15-16页
第2章 光栅分光式移相干涉差分共焦原理
第16-37页
2.1 引言
第16页
2.2 光栅分光式同步移相干涉原理
第16-23页
2.2.1 正交相位光栅衍射特性分析
第16-19页
2.2.2 同步移相干涉理论分析
第19-23页
2.3 差分共焦显微技术理论分析
第23-32页
2.3.1 理想点物的共焦显微成像系统特征分析
第27-29页
2.3.2 理想平面镜的共焦显微成像系统特征分析
第29-30页
2.3.3 基于光瞳移焦效应的差分共焦原理分析
第30-32页
2.4 光栅分光式移相干涉差分共焦位移探测模型建立
第32-35页
2.5 本章小结
第35-37页
第3章 分光系统与移相系统设计与分析
第37-46页
3.1 引言
第37页
3.2 分光系统设计
第37-41页
3.2.1 正交相位光栅设计
第37-40页
3.2.2 光阑结构设计
第40-41页
3.3 移相误差分析与结构设计
第41-45页
3.3.1 移相误差分析
第41-42页
3.3.2 四象限移相器设计
第42-45页
3.4 本章小结
第45-46页
第4章 离焦探测特性分析与分瞳式光瞳设计
第46-53页
4.1 引言
第46页
4.2 有限针孔离焦探测分析
第46-49页
4.2.1 有限针孔共焦系统轴向响应特性分析
第46-48页
4.2.2 有限针孔差分共焦最佳离焦量分析
第48-49页
4.3 分瞳式相位光瞳结构设计
第49-52页
4.4 本章小结
第52-53页
第5章 实验及结果分析
第53-63页
5.1 引言
第53页
5.2 同步移相干涉位移测量实验
第53-59页
5.2.1 实验装置
第53-54页
5.2.2 同步移相干涉特性实验
第54-56页
5.2.3 同步移相干涉位移测量分辨力实验
第56页
5.2.4 同步移相干涉稳定性实验
第56-58页
5.2.5 同步移相干涉位移测量重复性实验
第58-59页
5.3 移相干涉差分共焦系统实验
第59-61页
5.3.1 移相干涉差分共焦系统移焦特性实验
第60-61页
5.3.2 差分共焦分辨力实验
第61页
5.4 本章小结
第61-63页
结论
第63-64页
参考文献
第64-67页
攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果
第67-69页
致谢
第69页
本篇论文共
69
页,
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