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光栅分光式移相干涉差分共焦位移传感技术研究

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光栅分光式移相干涉差分共焦位移传感技术研究
论文目录
 
摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第1章 绪论第9-16页
  1.1 课题的研究背景、目的和意义第9-10页
  1.2 国内外的研究现状及分析第10-14页
    1.2.1 同步移相干涉理论的发展第10-11页
    1.2.2 同步移相干涉技术的研究现状第11-13页
    1.2.3 移相干涉共焦技术的研究现状第13-14页
  1.3 本课题需要解决的问题第14-15页
  1.4 课题来源及主要研究内容第15-16页
第2章 光栅分光式移相干涉差分共焦原理第16-37页
  2.1 引言第16页
  2.2 光栅分光式同步移相干涉原理第16-23页
    2.2.1 正交相位光栅衍射特性分析第16-19页
    2.2.2 同步移相干涉理论分析第19-23页
  2.3 差分共焦显微技术理论分析第23-32页
    2.3.1 理想点物的共焦显微成像系统特征分析第27-29页
    2.3.2 理想平面镜的共焦显微成像系统特征分析第29-30页
    2.3.3 基于光瞳移焦效应的差分共焦原理分析第30-32页
  2.4 光栅分光式移相干涉差分共焦位移探测模型建立第32-35页
  2.5 本章小结第35-37页
第3章 分光系统与移相系统设计与分析第37-46页
  3.1 引言第37页
  3.2 分光系统设计第37-41页
    3.2.1 正交相位光栅设计第37-40页
    3.2.2 光阑结构设计第40-41页
  3.3 移相误差分析与结构设计第41-45页
    3.3.1 移相误差分析第41-42页
    3.3.2 四象限移相器设计第42-45页
  3.4 本章小结第45-46页
第4章 离焦探测特性分析与分瞳式光瞳设计第46-53页
  4.1 引言第46页
  4.2 有限针孔离焦探测分析第46-49页
    4.2.1 有限针孔共焦系统轴向响应特性分析第46-48页
    4.2.2 有限针孔差分共焦最佳离焦量分析第48-49页
  4.3 分瞳式相位光瞳结构设计第49-52页
  4.4 本章小结第52-53页
第5章 实验及结果分析第53-63页
  5.1 引言第53页
  5.2 同步移相干涉位移测量实验第53-59页
    5.2.1 实验装置第53-54页
    5.2.2 同步移相干涉特性实验第54-56页
    5.2.3 同步移相干涉位移测量分辨力实验第56页
    5.2.4 同步移相干涉稳定性实验第56-58页
    5.2.5 同步移相干涉位移测量重复性实验第58-59页
  5.3 移相干涉差分共焦系统实验第59-61页
    5.3.1 移相干涉差分共焦系统移焦特性实验第60-61页
    5.3.2 差分共焦分辨力实验第61页
  5.4 本章小结第61-63页
结论第63-64页
参考文献第64-67页
攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果第67-69页
致谢第69页

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