反射式数字全息显微测量技术研究

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反射式数字全息显微测量技术研究

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反射式数字全息显微测量技术研究

论文目录
中文摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章绪论	第9-15页
1.1 数字全息术概述	第9-10页
1.2 数字全息显微术概论	第10页
1.3 MEMS器件及其形貌测量	第10-12页
1.3.1 MEMS器件概述	第10-11页
1.3.2 MEMS的分类	第11页
1.3.3 MEMS表面形貌测量	第11-12页
1.4 数字全息显微术研究状况	第12-14页
1.4.1 国外研究现状	第12-13页
1.4.2 国内研究现状	第13-14页
1.5 本文的选题意义和主要工作	第14-15页
第二章数字全息基本理论	第15-26页
2.1 标量衍射理论	第15-19页
2.1.1 菲涅耳近似	第15-17页
2.1.2 菲涅耳衍射公式的两种表示	第17-19页
2.2 数字全息的记录与再现	第19-21页
2.2.1 数字全息记录过程	第19-20页
2.2.2 数字全息再现过程	第20-21页
2.3 离轴数字全息的实验条件	第21-25页
2.3.1 最大物参光夹角	第21-23页
2.3.2 最小记录距离	第23-25页
2.4 本章小节	第25-26页
第三章数字全息再现像重构技术	第26-36页
3.1 相位畸变补偿	第26-28页
3.1.1 相位掩模板	第26-27页
3.1.2 修正的虚拟数字参考光	第27-28页
3.2 自聚焦方法	第28-30页
3.2.1 灰度熵方法	第28-29页
3.2.2 灰度方差函数	第29页
3.2.3 梯度函数	第29-30页
3.3 再现像可控放大率重构	第30-35页
3.3.1 可控放大率重构基本原理	第30-34页
3.3.2 实验验证	第34-35页
3.4 本章小结	第35-36页
第四章欠采样相位解包裹技术	第36-49页
4.1 欠采样相位解包裹研究现状	第36-37页
4.2 欠采样条件下相位解包裹原理	第37-41页
4.2.1 一次横向剪切	第37-38页
4.2.2 二次横向剪切	第38-40页
4.2.3 剪切方向的选取对剪切效果的影响	第40-41页
4.3 仿真与实验结果分析	第41-48页
4.3.1 无噪声仿真结果分析	第41-43页
4.3.2 含噪声仿真结果分析	第43-46页
4.3.3 数字全息实验验证	第46-48页
4.4 本章小结	第48-49页
第五章反射式数字全息显微术	第49-61页
5.1 实验光路介绍	第49-53页
5.1.1 典型的反射式离轴数字全息显微光路	第49-50页
5.1.2“斜物光”反射式离轴数字全息显微光路	第50-52页
5.1.3 改进的反射式离轴数字全息显微光路	第52-53页
5.2 反射式数字全息光路器件的选取及分析	第53-55页
5.2.1 激光光源	第53-54页
5.2.2 CCD的选取及其性能参数	第54-55页
5.2.3 样品的选取	第55页
5.3 实验结果及分析	第55-59页
5.3.1 标准分辨率板形貌测量	第55-57页
5.3.2 压力敏感芯片形貌测量	第57-59页
5.4 本章小结	第59-61页
第六章总结与展望	第61-62页
参考文献	第62-67页
攻读硕士期间发表的论文	第67-68页
致谢	第68-69页

本篇论文共69页，点击这进入下载页面。

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