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激光散斑离面变形微纳测量技术研究
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激光散斑离面变形微纳测量技术研究
论文目录
致谢
第1-8页
摘要
第8-9页
ABSTRACT
第9-16页
第一章 绪论
第16-23页
1.1 微纳测量研究和应用背景介绍
第16-17页
1.1.1 微纳米技术发展现状
第16页
1.1.2 微纳测量技术
第16-17页
1.2 激光散斑干涉微纳测量技术
第17-21页
1.2.1 电子散斑干涉技术起源和发展现状
第17-19页
1.2.2 激光散斑干涉在微纳测量领域的应用
第19-21页
1.3 本课题研究的主要目的和内容
第21-23页
第二章 激光散斑干涉测量基本原理
第23-38页
2.1 散斑计量
第23-31页
2.1.1 散斑现象
第23-24页
2.1.2 散斑的统计特性
第24-26页
2.1.3 散斑计量技术
第26-31页
2.2 激光散斑离面变形测量
第31-35页
2.2.1 离面变形测量基本原理
第31-33页
2.2.2 条纹的获取
第33-35页
2.3 ESPI显微干涉结构
第35-37页
2.4 本章小结
第37-38页
第三章 干涉条纹分析和相位提取
第38-51页
3.1 四步相移法提取相位
第38-43页
3.1.1 基本原理
第38-42页
3.1.2 实现方式
第42-43页
3.2 条纹图和包裹相位图滤波算法
第43-50页
3.2.1 各向异性扩散滤波
第43-46页
3.2.2 自适应加权滤波
第46-48页
3.2.3 包裹相位图的正余弦滤波
第48-50页
3.3 本章小结
第50-51页
第四章 相位解包裹
第51-73页
4.1 相位解包裹介绍
第51-57页
4.1.1 相位解包裹的基本原理
第51-53页
4.1.2 实际解包裹的难点
第53-57页
4.2 一维相位解包裹
第57-59页
4.3 二维相位解包裹
第59-72页
4.3.1 行列逐点法
第60-62页
4.3.2 基于可靠度排序的非连续路径算法
第62-66页
4.3.3 基于图像分解的自动相位解包裹
第66-72页
4.4 本章小结
第72-73页
第五章 测量系统搭建及实验分析
第73-89页
5.1 基于相移法的激光散斑离面变形微纳测量系统
第73-79页
5.1.1 测量系统硬件光路设计和搭建
第73-77页
5.1.2 测量相关算法和软件设计
第77-79页
5.2 压电陶瓷相移器标定
第79-82页
5.3 实验和结果分析
第82-85页
5.4 验证性实验
第85-87页
5.5 本章小结
第87-89页
第六章 总结及展望
第89-91页
6.1 工作总结
第89页
6.2 未来展望
第89-91页
参考文献
第91-95页
攻读硕士学位期间的学术活动和成果情况
第95页
本篇论文共
95
页,
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。
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