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激光散斑离面变形微纳测量技术研究

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激光散斑离面变形微纳测量技术研究
论文目录
 
致谢第1-8页
摘要第8-9页
ABSTRACT第9-16页
第一章 绪论第16-23页
  1.1 微纳测量研究和应用背景介绍第16-17页
    1.1.1 微纳米技术发展现状第16页
    1.1.2 微纳测量技术第16-17页
  1.2 激光散斑干涉微纳测量技术第17-21页
    1.2.1 电子散斑干涉技术起源和发展现状第17-19页
    1.2.2 激光散斑干涉在微纳测量领域的应用第19-21页
  1.3 本课题研究的主要目的和内容第21-23页
第二章 激光散斑干涉测量基本原理第23-38页
  2.1 散斑计量第23-31页
    2.1.1 散斑现象第23-24页
    2.1.2 散斑的统计特性第24-26页
    2.1.3 散斑计量技术第26-31页
  2.2 激光散斑离面变形测量第31-35页
    2.2.1 离面变形测量基本原理第31-33页
    2.2.2 条纹的获取第33-35页
  2.3 ESPI显微干涉结构第35-37页
  2.4 本章小结第37-38页
第三章 干涉条纹分析和相位提取第38-51页
  3.1 四步相移法提取相位第38-43页
    3.1.1 基本原理第38-42页
    3.1.2 实现方式第42-43页
  3.2 条纹图和包裹相位图滤波算法第43-50页
    3.2.1 各向异性扩散滤波第43-46页
    3.2.2 自适应加权滤波第46-48页
    3.2.3 包裹相位图的正余弦滤波第48-50页
  3.3 本章小结第50-51页
第四章 相位解包裹第51-73页
  4.1 相位解包裹介绍第51-57页
    4.1.1 相位解包裹的基本原理第51-53页
    4.1.2 实际解包裹的难点第53-57页
  4.2 一维相位解包裹第57-59页
  4.3 二维相位解包裹第59-72页
    4.3.1 行列逐点法第60-62页
    4.3.2 基于可靠度排序的非连续路径算法第62-66页
    4.3.3 基于图像分解的自动相位解包裹第66-72页
  4.4 本章小结第72-73页
第五章 测量系统搭建及实验分析第73-89页
  5.1 基于相移法的激光散斑离面变形微纳测量系统第73-79页
    5.1.1 测量系统硬件光路设计和搭建第73-77页
    5.1.2 测量相关算法和软件设计第77-79页
  5.2 压电陶瓷相移器标定第79-82页
  5.3 实验和结果分析第82-85页
  5.4 验证性实验第85-87页
  5.5 本章小结第87-89页
第六章 总结及展望第89-91页
  6.1 工作总结第89页
  6.2 未来展望第89-91页
参考文献第91-95页
攻读硕士学位期间的学术活动和成果情况第95页

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