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10A/300V结势垒控制肖特基管的研制

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10A/300V结势垒控制肖特基管的研制
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-8页
引言第8-9页
1 基本理论原理第9-23页
  1.1 肖特基接触第9-13页
    1.1.1 肖特基势垒的形成第9-11页
    1.1.2 金-半结势垒中载流子的输运过程第11-12页
    1.1.3 肖特基的电流电压特性第12-13页
    1.1.4 实际肖特基整流管的电流电压特性第13页
  1.2 肖特基二极管简介第13-20页
    1.2.1 肖特基势垒二极管结构第15-16页
    1.2.2 肖特基二极管的原理理论与分析第16-20页
  1.3 PIN结构第20-21页
  1.4 结势垒控制型肖特基整流管第21-23页
2 JBS10A300V产品的设计方案第23-36页
  2.1 产品介绍第23-24页
  2.2 设计要求与方案确定第24-36页
    2.2.1 设计要求第24-34页
    2.2.2 方案确定第34-36页
3 JBS10A300V产品的制造环境及具体生产流片工艺过程第36-51页
  3.1 JBS10A300V产品制造环境第36-39页
    3.1.1 净化等级第36页
    3.1.2 环境温湿度第36-37页
    3.1.3 生产中控制污染的9种技术第37-39页
  3.2 JBS10A300V产品具体生产流片工艺过程第39-51页
    3.2.1 外延片准备及标识第39-40页
    3.2.2 清洗第40-42页
    3.2.3 初始氧化第42-43页
    3.2.4 光刻第43-46页
    3.2.5 离子注入第46-47页
    3.2.6 退火第47页
    3.2.7 金属溅射、蒸发第47-48页
    3.2.8 硅化物形成和Al合金第48-49页
    3.2.9 减薄第49页
    3.2.10 测试第49页
    3.2.11 划片第49页
    3.2.12 后道封装第49-51页
4 JBS10A300V产品流片电参数曲线及数据统计分析第51-58页
  4.1 引线孔腐蚀去胶后测试第51-52页
  4.2 势垒金属腐蚀后测试第52-53页
  4.3 正面Al合金后测试第53页
  4.4 背面金属化后测试第53-54页
  4.5 中测后具体数据第54-55页
  4.6 封装后测试数据第55-57页
  4.7 各工艺段电参数汇总第57-58页
5 JBS10A300V产品可靠性试验第58-60页
  5.1 JBS10A300V产品的成品率及封装后测试数据第58页
  5.2 JBS10A300V产品抗静电试验(ESD)第58-59页
  5.3 JBS10A300V产品直流老化第59页
  5.4 JBS10A300V产品可靠性试验总结第59-60页
结论第60-62页
致谢第62-63页
参考文献第63-64页

本篇论文共64页,点击这进入下载页面
 
更多论文
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