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基于MEMS共面波导传输线结构与特性的研究
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基于MEMS共面波导传输线结构与特性的研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第一章 绪论第10-15页
　　1.1 微波传输线概述第10页
　　1.2 MEMS技术概述第10-12页
　　1.3 MEMS微波传输线第12-13页
　　1.4 本文研究目的和意义第13页
　　1.5 主要研究内容第13-15页
第二章 微波传输线理论与分析第15-43页
　　2.1 微波传输线分类与特性第15-25页
　　　　2.1.1 微波传输线分类第15页
　　　　2.1.2 常用微波传输线传输特性第15-25页
　　2.2 CPW传输线发展历史及现状第25-26页
　　2.3 CPW结构与性能概述第26-28页
　　　　2.3.1 CPW等效电路模型第26-27页
　　　　2.3.2 分布参数模型第27-28页
　　2.4 CPW传输线分析方法第28-29页
　　　　2.4.1 微波传输线的一般分析方法第28-29页
　　　　2.4.2 CPW的分析方法第29页
　　2.5 CPW电磁场特性分析第29-34页
　　2.6 CPW建模研究第34-40页
　　2.7 CPW损耗研究第40-42页
　　2.8 本章小结第42-43页
第三章 MEMS CPW新型结构的研究第43-64页
　　3.1 MEMSCPW概述第43页
　　3.2 MEMSCPW仿真方法的研究第43-44页
　　3.3 MEMS CPW的新型结构设计方法第44-45页
　　3.4 MEMS CPW结构研究第45-56页
　　　　3.4.1 MEMS桥式CPW(BCPW)第45-48页
　　　　3.4.2 改进型MEMS桥式CPW第48-49页
　　　　3.4.3 MEMS开槽式CPW第49-51页
　　　　3.4.4 MEMS微屏蔽开槽式CPW第51-56页
　　3.5 改进型MEMS微屏蔽CPW的研究第56-59页
　　3.6 椭圆形凹槽边缘悬空MEMSCPW的研究第59-63页
　　　　3.6.1 共面波导损耗研究第59页
　　　　3.6.2 椭圆形凹槽边缘悬空共面波导设计第59-61页
　　　　3.6.3 椭圆形凹槽边缘悬空CPW特性阻抗分析第61-62页
　　　　3.6.4 椭圆形凹槽边缘悬空共面波导仿真第62页
　　　　3.6.5 椭圆形凹槽悬空共面波导的优化第62-63页
　　3.7 本章小结第63-64页
第四章 基于薄膜结构的CPW特性研究第64-84页
　　4.1 衬底结构尺寸对薄膜结构的CPW特性阻抗影响分析第64-67页
　　4.2 基于薄膜结构和高阻硅衬底的共面波导特性研究第67-72页
　　　　4.2.1 高阻硅衬底对CPW损耗研究第67-68页
　　　　4.2.2 衬底薄膜结构CPW等效电路分析第68-69页
　　　　4.2.3 模型参数对特性阻抗影响分析第69-72页
　　4.3 不同衬底材料对CPW损耗影响分析第72-73页
　　4.4 聚酰亚胺薄膜对高阻硅衬底CPW损耗的影响分析第73-76页
　　4.5 二氧化硅薄膜对硅衬底CPW损耗影响分析第76-83页
　　　　4.5.1 低阻硅衬底上加二氧化硅薄膜的CPW损耗分析第76-80页
　　　　4.5.2 高阻硅衬底上加二氧化硅薄膜的CPW损耗分析第80-83页
　　4.6 本章小结第83-84页
第五章 总结与展望第84-86页
　　5.1 总结第84页
　　5.2 展望第84-86页
参考文献第86-90页
致谢第90-91页
攻读学位期间发表的学术论文目录第91页

本篇论文共91页，点击这进入下载页面。
 
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