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基于透射光谱反演法的亚波长光栅槽形参数测量技术研究
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基于透射光谱反演法的亚波长光栅槽形参数测量技术研究
论文目录
 
中文摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-18页
　　1.1 课题来源第10页
　　1.2 课题研究的重要意义及国内外研究现状第10-16页
　　　　1.2.1 微结构的发展第10页
　　　　1.2.2 光栅的发展第10-11页
　　　　1.2.3 光栅参数测量的重要性第11-12页
　　　　1.2.4 光栅参数测量的各种方法第12-16页
　　　　1.3. 本论文主要工作内容第16-17页
本章小结第17-18页
第二章 光栅衍射的严格耦合波理论第18-36页
　　2.1 前言第18页
　　2.2 光栅衍射效率的计算第18-26页
　　　　2.2.1 矩形光栅的衍射效率计算第18-22页
　　　　2.2.2 非矩形槽光栅衍射效率的计算第22-25页
　　　　2.2.3 基于RCWA的光栅衍射效率计算结果的验证第25-26页
　　2.3 矩形光栅衍射效率特性分析第26-27页
　　2.4 光栅光谱第27-35页
　　　　2.4.1 光栅光谱的概念第27-29页
　　　　2.4.2 基于光栅光谱的光栅槽形参数测量方法研究第29-35页
本章小结第35-36页
第三章 用透射光谱反演光栅槽形参数的研究第36-48页
　　　　3.1. 前言第36页
　　　　3.2. 优化算法的选择第36-40页
　　　　3.2.1 遗传算法和直接搜索算法第36-38页
　　　　3.2.2 优化算法的反演能力研究第38-40页
　　　　3.3. 评价函数的选择第40-47页
本章小结第47-48页
第四章 亚波长光栅槽形参数实验研究第48-68页
　　　　4.1. 前言第48页
　　　　4.2. 零级透射光谱测量系统第48-58页
　　　　　　4.2.1. USB4000便携式光谱仪第48-51页
　　　　　　4.2.2. 利用USB4000便携式光谱仪测量零级透射光谱第51-54页
　　　　　　4.2.3. 对零级透射光谱测量系统的改进第54-56页
　　　　　　4.2.4. 零级透射光谱测量系统的标定第56-58页
　　　　4.3. 镀金光栅掩模槽形参数的测量第58-64页
　　　　4.4. 误差分析第64-66页
　　　　4.5. 实例：梯形石英透射光栅槽形下底占空比的测量第66页
　　　　4.6. 光栅槽形参数反演程序第66-67页
本章小结第67-68页
第五章 总结与展望第68-70页
　　　　5.1. 论文工作总结第68-69页
　　　　5.2. 展望第69-70页
参考文献第70-74页
攻读硕士学位期间发表的论文第74-75页
致谢第75页

本篇论文共75页，点击这进入下载页面。
 
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