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基于准直光束整形的自由曲面设计方法研究

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基于准直光束整形的自由曲面设计方法研究
论文目录
 
致谢第1-6页
摘要第6-8页
Abstract第8-12页
1 绪论第12-25页
  1.1 非成像光学第12-16页
    1.1.1 非成像光学起源与发展第12-13页
    1.1.2 非成像光学相关概念(边缘光线原理、光学扩展量和能量利用率)第13-15页
    1.1.3 非成像光学应用第15-16页
  1.2 自由曲面非成像光学设计第16-23页
    1.2.1 光学自由曲面第16-17页
    1.2.2 单个自由曲面设计方法概述第17-21页
    1.2.3 双自由曲面设计方法概述第21-23页
  1.3 课题研究内容与创新第23-25页
2 柱坐标系下的单个自由曲面准直光束整形设计方法第25-33页
  2.1 引言第25页
  2.2 自由曲面光学设计基本定律和设计思路第25-26页
  2.3 柱坐标系下的椭圆型Monge-Ampere方程推导第26-29页
  2.4 数值求解第29-30页
  2.5 柱坐标系下单个自由曲面设计方法验证第30-32页
  2.6 本章小结第32-33页
3 直角坐标系下的单个自由曲面准直光束整形设计方法第33-43页
  3.1 光刻离轴照明第33-35页
  3.2 直角坐标系下的自由曲面设计方法第35-37页
  3.3 离轴照明设计实例第37-42页
  3.4 本章小结第42-43页
4 双自由曲面准直光束整形设计方法第43-55页
  4.1 引言第43-44页
  4.2 基于准直光束整形的双自由曲面设计方法第44-46页
  4.3 数值求解第46-48页
  4.4 设计实例第48-53页
  4.5 本章小结第53-55页
5 基于激光光束整形的双自由曲面设计方法验证第55-64页
  5.1 模拟结果分析第55-59页
  5.2 激光光束整形实验验证第59-63页
  5.3 本章小结第63-64页
6 总结与展望第64-67页
  6.1 总结第64-66页
  6.2 展望第66-67页
参考文献第67-72页
附录1 硕士期间发表论文第72-73页
附录2 硕士期间申请专利第73-74页
作者简历第74页

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