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β-Ga2O3/p-Si异质结生长及其光电特性研究

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β-Ga2O3/p-Si异质结生长及其光电特性研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第一章 绪论第10-19页
  1.1 研究背景和意义第10-11页
  1.2 Ga_2O_3的结构第11-12页
  1.3 β-Ga_2O_3的性质和应用前景第12-15页
    1.3.1 Ga_2O_3大功率半导体器件器第12-13页
    1.3.2 Ga_2O_3基的紫外光探测器第13-14页
    1.3.3 Ga_2O_3透明导电薄膜第14页
    1.3.4 Ga_2O_3基气敏元件第14-15页
    1.3.5 基于Ga_2O_3薄膜的电致发光器件(TFEL)第15页
  1.4 β-Ga_2O_3异质结研究现状第15-16页
参考文献第16-19页
第二章 Ga_2O_3薄膜的制备和表征第19-28页
  2.1 化学气相淀积技术第19-20页
  2.2 磁控溅射第20页
  2.3 溶胶一凝胶第20-21页
  2.4 激光分子束外延第21-23页
    2.4.1 激光分子束外延原理第21-23页
    2.4.2 激光分子束外延系统第23页
  2.6 反射式高能电子衍射设备(RHEED)第23-24页
  2.7 X射线衍射分析技术第24-26页
  2.8 本章小结第26页
参考文献第26-28页
第三章 光电探测第28-52页
  3.1 光电效应第28-30页
    3.1.1 外光电效应第28-29页
    3.1.2 内光电效应第29-30页
  3.2 真空管光电探测器第30-39页
    3.2.1 真空管光电二极管第31-32页
    3.2.2 光电倍增管(PMT)第32-39页
  3.3 半导体光电探测器第39-44页
    3.3.1 PN结型光电二极管第41-43页
    3.3.2 PIN型光电二极管第43页
    3.3.3 雪崩光电二极管第43-44页
  3.4 日盲紫外光电探测器第44-46页
  3.5 光电探测器的性能参数第46-48页
    3.5.1 响应度和量子效率第46-47页
    3.5.2 探测器的响应时间第47-48页
  3.6 本章小结第48-49页
参考文献第49-52页
第四章 Si衬底上Ga_2O_3薄膜的生长及其光电性质研究第52-72页
  4.1 Ga_2O_3薄膜沉积的原理和过程第52-54页
  4.2 工艺参数对β-Ga_2O_3薄膜的影响第54-57页
    4.2.1 衬底温度对Ga_2O_3薄膜生长的影响第54-55页
    4.2.2 氧分压对薄膜生长的影响第55-56页
    4.2.3 退火对薄膜生长的影响第56-57页
  4.3 Ga_2O_3/p-Si异质结制备第57-58页
  4.4 β-Ga_2O_3薄膜的RHEED图和XRD衍射图第58-59页
  4.5 光电探测器的电极第59-61页
    4.5.1 肖特慕接触欧姆接触第59-60页
    4.5.2 电极制备第60-61页
  4.6 Ga_2O_3薄膜的光电特性的研究第61-69页
    4.6.1 响应度与量子效率第61-63页
    4.6.2 响应时间常数第63-66页
    4.6.3 载流子运输机理讨论第66-69页
  4.7 本章小结第69页
参考文献第69-72页
第五章 总结与展望第72-73页
致谢第73-74页
作者攻读学位期间发表的学术论文第74页

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