电热式双S结构MEMS微镜的热学特性研究

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电热式双S结构MEMS微镜的热学特性研究

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电热式双S结构MEMS微镜的热学特性研究

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-9页
第1章绪论	第9-18页
1.1 研究背景和意义	第9-10页
1.2 国内外研究现状及发展趋势	第10-17页
1.2.1 MEMS微镜概述	第10-11页
1.2.2 MEMS微镜的分类	第11-15页
1.2.3 传热模型的研究	第15-17页
1.3 本文主要内容	第17-18页
第2章电热式双S结构MEMS微镜	第18-28页
2.1 电热式bimorph的驱动原理	第18-21页
2.2 电热式双S结构MEMS微镜的整体设计	第21-24页
2.3 电热式双S结构MEMS微镜的加工与制备	第24-27页
2.4 本章小结	第27-28页
第3章电热式FDS微镜热学特性的实验研究	第28-38页
3.1 研究背景	第28页
3.2 实验装置及步骤	第28-33页
3.2.1 标定电阻温度系数	第29-30页
3.2.2 光学测试系统	第30-31页
3.2.3 真空测试系统	第31-33页
3.3 实验结果及讨论	第33-37页
3.4 本章小结	第37-38页
第4章电热式FDS微镜传热模型的研究	第38-49页
4.1 电-热-机转换	第38页
4.2 电热式双S结构微镜的热等效电路模型	第38-44页
4.2.1 热特性分析	第38-39页
4.2.2 一维热传导方程的离散化处理	第39-41页
4.2.3 建立热等效电路模型	第41-43页
4.2.4 仿真结果及讨论	第43-44页
4.3 电热式双S结构微镜的热有限元模型	第44-48页
4.3.1 边界条件	第44-45页
4.3.2 3D有限元模型	第45-47页
4.3.3 仿真结果	第47-48页
4.4 本章小结	第48-49页
结论	第49-51页
参考文献	第51-56页
附录	第56-58页
攻读学位期间发表论文与研究成果清单	第58-59页
致谢	第59-60页

本篇论文共60页，点击这进入下载页面。

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